[实用新型]一种水冷型射频二氧化碳激光器有效
申请号: | 201820278254.3 | 申请日: | 2018-02-27 |
公开(公告)号: | CN207868603U | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 唐友清 | 申请(专利权)人: | 南京晨锐腾晶激光科技有限公司 |
主分类号: | H01S3/041 | 分类号: | H01S3/041 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 李德溅 |
地址: | 211100 江苏省南京市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光谐振腔 电极板 射频二氧化碳激光器 本实用新型 电极板本体 放电电极板 接地电极板 平板电极 开口端 水冷型 直管部 循环冷却水 工作气体 平行设置 射频电源 出水口 入水口 内插 冷却 平行 伸出 | ||
1.一种水冷型射频二氧化碳激光器,包括射频电源腔(1)和激光谐振腔(2),在激光谐振腔(2)中设有相对平行设置的放电电极板(21)和接地电极板(22),其特征在于:所述的放电电极板(21)和接地电极板(22)皆包括电极板本体(3),在电极板本体(3)内设有两条相互平行的电极板通道(31),电极板通道(31)内插有U形铜管(4)的直管部(41)且直管部(41)的两端皆伸出电极板通道(31)的端口;所述U形铜管(4)的一开口端为入水口(43)、另一开口端为出水口(44)。
2.根据权利要求1所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述的U形铜管(4)平行于电极板本体(3)设置,且U形铜管(4)沿电极板本体(3)的长度方向设置。
3.根据权利要求1或2所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述的U形铜管(4)和电极板本体(3)通过焊接固定连接。
4.根据权利要求1或2所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述的U形铜管(4)位于放电电极板(21)的中下部。
5.根据权利要求1或2所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述的U形铜管(4)位于接地电极板(22)的中上部。
6.根据权利要求1所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述的电极板本体(3)为矩形金属板。
7.根据权利要求1所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述的U形铜管(4)由直管部(41)和弯管部(42)构成,且弯管部(42)位于电极板本体(3)的端部外侧。
8.根据权利要求7所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述直管部(41)和弯管部(42)的外径相同,且直管部(41)和弯管部(42)的外径小于电极板通道(31)的内径。
9.根据权利要求1或8所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述电极板通道(31)的截面为圆形。
10.根据权利要求1所述的水冷型射频二氧化碳激光器,其特征在于:所述的射频电源腔(1)中设置有一块射频电源板(11),射频电源板(11)输出的射频信号通过射频馈头(12)传递给放电电极板(21)。
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