[实用新型]一种水冷型射频二氧化碳激光器

说明书

本实用新型公开了一种水冷型射频二氧化碳激光器，包括射频电源腔（1）和激光谐振腔（2），在激光谐振腔（2）中设有相对平行设置的放电电极板（21）和接地电极板（22），其特征在于：所述的放电电极板（21）和接地电极板（22）皆包括电极板本体（3），在电极板本体（3）内设有两条相互平行的电极板通道（31），电极板通道（31）内插有U形铜管（4）的直管部（41）且直管部（41）的两端皆伸出电极板通道（31）的端口；所述U形铜管（4）的一开口端为入水口（43）、另一开口端为出水口（44）。本实用新型通过在U形铜管中通入循环冷却水实现对平板电极的冷却，确保激光谐振腔中的平板电极和工作气体均保持适宜的温度。

技术领域

本实用新型涉及激光技术领域，具体的说是一种散热性良好的水冷型射频二氧化碳激光器。

背景技术

射频二氧化碳激光器一般由射频电源腔和激光谐振腔组成，由射频电源腔中的电源板提供射频功率，射频馈头将该射频功率传递给激光谐振腔中的平板电极，平板电极放电激励激光工作气体产生激光。平板电极是两块上下平行设置的板状电极，上电极是放电电极，下电极是接地电极，在激光器运行过程中，两块平板电极一直处于射频放电的状态，温度会不断升高，同时激光工作气体受到电极的激励温度也会持续升高。因此随着激光器的运行，谐振腔中的温度会越来越高，但是温度升高对激光器的运行非常不利，它会导致两个问题：1）平板电极温度过高时会发生形变，激光器的输出功率对于电极表面的形变很敏感，平板电极变形通常会导致激光输出功率下降；2）工作气体温度升高使二氧化碳分子的跃迁谱线加宽，从而导致激光受激截面减小，也会导致激光输出功率减小。因此谐振腔中的温度过高一直是制约激光器向高功率、高稳定性发展的重要因素。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种散热性良好的水冷型射频二氧化碳激光器；该射频二氧化碳激光器通过冷却水循环系统对平板电极散热，使谐振腔中的温度保持在理想工作状态的温度范围内，使激光器能够平稳的输出额定功率的激光。

本实用新型的目的是通过以下技术方案解决的：

一种水冷型射频二氧化碳激光器，包括射频电源腔和激光谐振腔，在激光谐振腔中设有相对平行设置的放电电极板和接地电极板，其特征在于：所述的放电电极板和接地电极板皆包括电极板本体，在电极板本体内设有两条相互平行的电极板通道，电极板通道内插有U形铜管的直管部且直管部的两端皆伸出电极板通道的端口；所述U形铜管的一开口端为入水口、另一开口端为出水口。

所述的U形铜管平行于电极板本体设置，且U形铜管沿电极板本体的长度方向设置。

所述的U形铜管和电极板本体通过焊接固定连接。

所述的U形铜管位于放电电极板的中下部。

所述的U形铜管位于接地电极板的中上部。

所述的电极板本体为矩形金属板。

所述的U形铜管由直管部和弯管部构成，且弯管部位于电极板本体的端部外侧。

所述直管部和弯管部的外径相同，且直管部和弯管部的外径小于电极板通道的内径。

所述电极板通道的截面为圆形。

所述的射频电源腔中设置有一块射频电源板，射频电源板输出的射频信号通过射频馈头传递给放电电极板。

本实用新型相比现有技术有如下优点：