[实用新型]一种用于切割机进料手臂的吸料装置有效
| 申请号： | 201820279791.X | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN207852628U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 孟强;聂伟;陈志远;吴秋明;王坤 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸嘴 螺栓 吸嘴支架 切割机 支架 本实用新型 负压发生器 进料手臂 吸料装置 伸出 晶圆 晶圆切割 上料效率 一体设置 软管 螺纹孔 上端 省时 同轴 下端 省力 搬运 开口 侧面 | ||
1.一种用于切割机进料手臂的吸料装置，其特征在于，包括伸出支架，伸出支架的一端固定连接有吸嘴支架，伸出支架的另一端设有负压发生器，所述吸嘴支架上设有至少两个吸嘴，吸嘴为管状，吸嘴的上端一体设置有螺栓，螺栓与吸嘴同轴，所述吸嘴支架上对应螺栓设有两个螺纹孔，螺栓与吸嘴支架固定连接，所述吸嘴的下端设有开口，吸嘴的侧面经软管与负压发生器相连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于切割机进料手臂的吸料装置，其特征在于，所述伸出支架和吸嘴支架均为直线型，伸出支架和吸嘴支架的轴线相垂直，两个吸嘴分别对称分布在吸嘴支架的左右两端。
3.根据权利要求2所述的一种用于切割机进料手臂的吸料装置，其特征在于，所述螺栓上套设有锁紧螺母，锁紧螺母的上端面与伸出支架相接触。
4.根据权利要求3所述的一种用于切割机进料手臂的吸料装置，其特征在于，所述伸出支架的左右两侧均对称设有连接翼，连接翼与吸嘴支架通过螺钉连接。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的一种用于切割机进料手臂的吸料装置，其特征在于，所述吸嘴支架的长度为14.5~15.5cm。
6.根据权利要求1-4任意一项所述的一种用于切割机进料手臂的吸料装置，其特征在于，所述伸出支架的另一端转动连接在进料手臂上，进料手臂下方设有切割机台，进料手臂的底部设有吸盘，与进料手臂相对的一侧设有升降台，升降台上放置有晶圆。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
