[实用新型]一种蒸镀行星锅有效
| 申请号： | 201820292356.0 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN207918943U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 王玉泉 | 申请（专利权）人： | 丹东英普朗特科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 118009 辽宁省丹*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 行星 硅晶圆 弹片 固定螺丝 支撑臂 蒸镀 本实用新型 自转 支架 坩埚 蒸发 电子束轰击 碎裂 电机带动 距离设置 螺丝固定 支架固定 圆心角 转轴轴 浮起 嵌入 电机 轨道 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀行星锅，其特征在于：包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅外侧设置齿与轨道上的齿啮合以保证行星锅自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；所述硅晶圆通过弹片及2个固定螺丝固定在行星锅的内侧；所述弹片的结构是：弹片距离行星锅一定距离设置凹槽，弹片通过两个螺丝固定在行星锅上；所述2个固定螺丝也设置相应的凹槽，硅晶圆径向外侧嵌入所述凹槽内以保证硅晶圆浮起于行星锅上，不与行星锅接触；所述两个固定螺丝与硅晶圆的圆心角为88°-90°。
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