[实用新型]一种蒸镀行星锅

说明书

本实用新型公开一种蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；所述硅晶圆通过弹片及2个固定螺丝固定在行星锅的内侧；所述弹片的结构是：弹片距离行星锅一定距离设置凹槽，弹片通过两个螺丝固定在行星锅上；所述2个固定螺丝也设置相应的凹槽，硅晶圆径向外侧嵌入所述凹槽内以保证硅晶圆浮起于行星锅上，不与行星锅接触；所述两个固定螺丝与硅晶圆的圆心角为88°‑90°。本实用新型可以避免蒸镀过程中硅晶圆的碎裂。

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，具体说是一种蒸镀装置。

背景技术

现有的蒸镀设备结构形式很多，典型的是硅晶圆硅晶圆紧贴行星锅体，该结构在蒸发过程中造成硅晶圆与行星锅粘连，造成硅晶圆在取出时碎裂；另外，现有的结构采用两个螺丝之间的角度为110°，由于角度过大，蒸镀过程中，温度变化较大，而由于温度造成的热缩力及膨胀力在两个螺丝之间直接压迫硅晶圆，容易造成硅晶圆碎裂。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种行星锅，可有效解决上述技术问题，具体技术方案如下：

一种蒸镀行星锅，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅外侧设置齿与轨道上的齿啮合以保证行星锅自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内，从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上；所述硅晶圆通过弹片及2个固定螺丝固定在行星锅的内侧；所述弹片的结构是：弹片距离行星锅一定距离设置凹槽，弹片通过两个螺丝固定在行星锅上；所述2个固定螺丝也设置相应的凹槽，硅晶圆径向外侧嵌入所述凹槽内以保证硅晶圆浮起于行星锅上，不与行星锅接触；所述两个固定螺丝与硅晶圆的圆心角为88°-90°。

所述行星锅的材料为工业纯钛。

本实用新型的优点是：

弹片使用两个螺丝固定，防止弹片在使用时转动，杜绝硅晶圆掉落；

弹片和螺丝，在装载在行星锅上的硅晶圆浮起于锅体上，不与行星锅接触，有效防止在蒸发过程中造成硅晶圆与行星锅粘连，造成硅晶圆在取出时碎裂。

减少固定两个固定硅晶圆的两个螺丝之间的角度至88°，减小对硅晶圆的内压力，降低碎片率。

材料更改：行星锅材料由316L不锈钢修改为工业纯钛，其优点是：

A.由于工业纯钛的密度仅为4.51g/cm³,而316L不锈钢的密度为7.98g/cm³，在相同体积下，钛金属行星锅比316L不锈钢行星锅轻45％。这样就减轻了操作工人的体力劳动，提高生产效率。

B.由于工业纯钛在20～700℃时，热膨胀系数为10.2x10^-6/℃，而316L不锈钢在20～800℃时的热膨胀系数19.0×10^-6/℃左右。这样就减小行星锅在300℃高温工作下的热变形，减少由于行星锅变形导致的硅晶圆碎裂报废。

C.由于工业纯钛的导热系数为19.3W/(m*K)，而316L不锈钢的导热系数为15.1W/(m*K)。这样就加快了腔体升温和降温速度，减少行星锅运转的前期升温时间和后期降温时间，提高生产效率。

D.众所周知，金属钛在常温下有优良的耐腐蚀性能，能耐大部分的无机酸、有机酸、碱溶液、盐溶液等。这样就增加了行星锅的使用寿命，减少成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为硅晶圆固定结构图；