[实用新型]晶圆容器

权利要求书

1.一种晶圆容器，其特征在于：

所述晶圆容器包含外壳，及至少一导流件，所述外壳界定容置空间，所述外壳包括底壁，及连接于所述底壁后端的后壁，所述底壁形成有至少一与所述容置空间相连通且邻近所述后壁的进气孔，所述导流件设置于所述容置空间内并且结合于所述底壁及所述后壁，所述导流件与所述底壁及所述后壁共同界定出与所述进气孔相连通的气体流道，所述导流件形成有多个沿着上下方向彼此相间隔排列的出气口，所述出气口连通于所述气体流道与所述容置空间之间。

2.根据权利要求1所述的晶圆容器，其特征在于：所述导流件可拆卸地结合于所述后壁及所述底壁。

3.根据权利要求1所述的晶圆容器，其特征在于：所述出气口的开口面积是沿着所述上下方向由下朝上逐渐变大，且所述出气口的开口面积是与其本身和所述进气孔间沿着所述气体流道相距的距离的平方呈正比。

4.根据权利要求1所述的晶圆容器，其特征在于：所述导流件包括呈长形且其长度是沿所述上下方向延伸的长形本体，且所述出气口形成于所述长形本体上朝向所述容置空间的一侧。

5.根据权利要求4所述的晶圆容器，其特征在于：所述导流件还包括至少一加劲凸部，且所述加劲凸部设置或形成于所述长形本体的长边。

6.根据权利要求2所述的晶圆容器，其特征在于：所述出气口的开口面积是沿着所述上下方向由下朝上逐渐变大，且所述出气口的开口面积是与其本身和所述进气孔间沿着所述气体流道相距的距离的平方呈正比。

7.根据权利要求6所述的晶圆容器，其特征在于：所述导流件包括呈长形且其长度是沿所述上下方向延伸的长形本体，且所述出气口形成于所述长形本体上朝向所述容置空间的一侧。

8.根据权利要求7所述的晶圆容器，其特征在于：所述导流件还包括至少一加劲凸部，且所述加劲凸部设置或形成于所述长形本体的长边。

9.根据权利要求1、2、3或6所述的晶圆容器，其特征在于：所述导流件为遮罩，且所述导流件后端与底端在未与所述后壁及所述底壁结合时是分别呈开放状。

10.根据权利要求9所述的晶圆容器，其特征在于：所述导流件包括出气罩，及形成于所述出气罩底端的支撑罩，所述出气罩结合于所述后壁并形成有所述出气口，所述出气罩后端在未与所述后壁结合时呈开放状，所述支撑罩结合于所述底壁及所述后壁并且罩住所述进气孔，所述支撑罩后端与底端在未与所述后壁及所述底壁结合时是分别呈开放状。

11.根据权利要求10所述的晶圆容器，其特征在于：所述底壁形成有两个左右相间隔的所述进气孔，所述底壁具有朝向所述容置空间的内顶面，所述后壁具有朝向所述容置空间的内壁面，及两组凸设于所述内壁面的定位凸肋，所述晶圆容器包含两个导流件，所述导流件的所述出气罩被对应的所述定位凸肋所定位而紧密结合于所述内壁面，所述导流件的所述支撑罩边缘紧密抵接于所述内顶面及所述内壁面。

12.根据权利要求11所述的晶圆容器，其特征在于：所述后壁形成有后开口，所述后壁上可拆装地结合有后盖板以封闭所述后开口，且所述定位凸肋分别位于所述后开口的左右两侧。

13.根据权利要求11所述的晶圆容器，其特征在于：所述后壁固定设置有后窗口，且所述定位凸肋分别位于所述后窗口的左右两侧。

14.根据权利要求11所述的晶圆容器，其特征在于：所述定位凸肋包括侧肋部，及位于所述侧肋部顶端的上肋部，所述导流件的所述出气罩被对应的所述定位凸肋的所述侧肋部及所述上肋部所共同定位。