[实用新型]适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统有效
| 申请号： | 201820307324.3 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN207933523U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 武迪;郑大平;朱瑞;杨明;徐元成 | 申请（专利权）人： | 湖北碳六科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 杨采良 |
| 地址： | 443400 湖北省宜*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空抽气系统 真空装置 可移动式 气相沉积 真空抽气 套包 可移动式平台 本实用新型 高真空泵 硬件成本 前级泵 沉积 台气 配备 生产 | ||
1.一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，包括前级泵和高真空泵，其特征在于：所述前级泵和高真空泵安装在一个可移动式的平台上；所述前级泵的一端和高真空泵的一端连接在一起；所述前级泵和高真空泵的另一端均设有快接端口。
2.根据权利要求1所述的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，其特征在于：所述前级泵采用旋片式机械泵或罗茨泵；所述高真空泵采用涡轮式分子泵或油扩散泵。
3.根据权利要求1所述的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，其特征在于：所述快接端口包括真空阀、快接卡套和放气阀；所述真空阀位于抽气管道或排气管道上，所述放气阀位于三通管道的垂直端，所述三通管道的水平段的两端分别通过所述快接卡套与所述可移动式快接真空抽气系统的进气管道或排气管道以及气相沉积真空装置的相应管道连接。
4.根据权利要求1所述的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，其特征在于：气相沉积真空装置配备一套振动小的维持泵，在维持泵前端管道上安装有一个三通快接端口，用于连接可移动式快接真空抽气系统；在维持泵后端管道上安装有一个三通快接端口，用于将可移动式快接真空抽气系统的尾气集中进行处理。
5.根据权利要求4所述的一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，其特征在于：所述三通快接端口包含真空阀、放气阀、真空快接法兰端口，用于保证可移动式快接真空抽气系统在安装与移除过程中不会影响到气相沉积真空装置的真空系统。
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