[实用新型]适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统

说明书

本实用新型公开了一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，将一套包含有前级泵和高真空泵的真空抽气系统安装在可移动式平台上，可移动式真空抽气系统以快接的方式与气相沉积真空装置连接起来，气相沉积真空装置正常生产时只需配备一台振动小的维持泵即可。可移动式真空抽气系统能够高效解决一台或者多台气相沉积真空装置的真空抽气问题，大大降低了硬件成本，并且提高了真空抽气效率。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积真空装置，具体涉及一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统。

背景技术

气相沉积真空装置配备有一套真空抽气系统，包括维持泵、前级泵、高真空泵。其中，维持泵是生产过程中气量很小不能有效地利用前级泵时配备的容量很小的辅助泵，一般是小型的旋片式机械泵，或者直接使用前级泵；前级泵一般是旋片式机械泵或者罗茨泵，前级泵的作用是将反应腔室的真空度由大气压抽至一定真空度直到满足高真空泵的启动要求,另外前级泵也可以当做维持泵使用；高真空泵一般是涡轮式分子泵或者油扩散泵，高真空泵启动前要求使用前级泵将反应腔室真空度抽至一定的真空度，一般达到10Pa以下。另外，高真空泵开始工作前需要预启动，例如油扩散泵启动前需要对泵油进行预热、涡轮式分子泵启动前需要转子转速达到一定要求。高真空泵预启动过程需要等待一定时间，并且有一定的振动干扰。前级泵与高真空泵前端直连的管道为主抽气管道，前级泵与高真空泵后端直连的管道为旁抽气管道。使用前级泵对气相沉积真空装置反应腔室进行粗抽至高真空泵真空度启动范围之内时，尾气通过旁抽气管道排走；启动高真空泵对气相沉积真空装置反应腔室进行精抽至本底真空时，尾气通过主抽气管道排走。

气相沉积真空装置在工业量产过程中对反应腔室的本底真空度和周边振动干扰有一定的要求。反应腔室的本底真空度越低，反应腔室内的残余气体对产品的污染越少。周边振动干扰过大会导致反应腔室内的产品发生位移，甚至可能影响气相反应均匀性从而影响产品质量。其中，作为前级泵的旋片式机械泵和罗茨泵的振动是最大的，高真空泵次之，维持泵振动最小。

气相沉积真空装置基本生产流程步骤：对反应腔室进行充气至大气压，打开反应腔室腔门，放入待处理产品，关闭腔门，抽真空至预设值以下，启动程序进行气相沉积，反应结束后排空反应尾气，对反应腔室进行充气至大气压，打开反应腔室腔门，取出处理完成的产品。气相沉积前使用前级泵和高真空泵将反应腔室抽至本底真空是为了减少残余气体的污染。气相沉积过程中通过调节维持泵抽真空速率和气源输入流量来维持一定的沉积气压。

现有技术存在以下缺点：每台设备单独使用一套抽真空的真空抽气系统，投入成本大，抽真空时间长(高真空泵预启动需要一定时间)，真空泵使用过程中的振动会影响设备生产稳定性。抽速小的前级泵振动小、耗时长，抽速大的前级泵振动大。气相沉积装置会根据反应腔室的大小配备一台抽速适中的前级泵，另外再配备一台高真空泵。另外，气相沉积对振动干扰有要求的气相沉积装置会另外配备一台振动较小、抽速较小的维持泵。每台设备单独配一套真空抽气系统在性价比方面优势不明显，而且耗时较长。为了降低设备成本，使用前级泵充当维持泵使用。与维持泵相比，前级泵耗电量大、振动大。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，该系统将包含有前级泵和高真空泵的真空抽气系统安装在可移动式平台上，可移动式真空抽气系统以快接的方式与气相沉积真空装置连接起来，气相沉积真空装置正常生产时只需配备一台振动小的维持泵即可。可移动式真空抽气系统能够高效解决一台或者多台气相沉积真空装置的真空抽气问题，大大降低了硬件成本，并且提高真空抽气效率。

为此，本实用新型采用了以下技术方案：

一种适用于气相沉积真空装置的可移动式快接真空抽气系统，包括前级泵和高真空泵；所述前级泵和高真空泵安装在一个可移动式的平台上；所述前级泵的一端和高真空泵的一端连接在一起；所述前级泵和高真空泵的另一端均设有快接端口。