[实用新型]一种旋转硅铝靶材有效
| 申请号： | 201820309922.4 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN208121191U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 常代展;王雷 | 申请（专利权）人： | 南通安泰新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226341 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背衬管 靶材 支撑杆 开口槽 挡板 运输 硅铝 托板 技术方案要点 本实用新型 挡板拆卸 互相垂直 开口封闭 碰撞损坏 轴向滑移 导热胶 导电 滑移 溅镀 外周 限位 滚动 取出 外部 支撑 | ||
1.一种旋转硅铝靶材，包括背衬管(1)以及套设在背衬管(1)外的靶材体(2)，所述靶材体(2)与背衬管(1)之间设有导电导热胶，其特征在于：还包括沿背衬管(1)的轴向滑移设置在背衬管(1)端部的支撑杆(5)，所述支撑杆(5)远离背衬管(1)的一端设有与背衬管(1)外周弧度相同的托板(7)；所述背衬管(1)的两端设有供支撑杆(5)滑移的开口槽(3)以及将开口槽(3)的开口封闭的挡板(4)，所述背衬管(1)每端的支撑杆(5)至少为两个且互相垂直设置。
2.根据权利要求1所述的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述支撑杆(5)包括与开口槽(3)滑移连接的滑块(51)以及与滑块(51)螺纹连接的滑杆(52)，所述滑杆(52)沿背衬管(1)的径向设置，所述托板(7)设置在滑杆(52)远离滑块(51)的一端。
3.根据权利要求2所述的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述开口槽(3)的侧壁上沿开口槽(3)的长度方向设有导向槽(31)，所述滑块(51)与开口槽(3)接触的侧面上设有与导向槽(31)配合的导向块(10)。
4.根据权利要求2或3所述的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述托板(7)与滑杆(52)的端部转动连接。
5.根据权利要求4所述的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述滑杆(52)上设有外螺纹，所述滑块(51)上设有与外螺纹配合的螺纹孔(6)，所述螺纹孔(6)内设有与滑杆(52)的端面抵接的弹簧(8)。
6.根据权利要求2所述的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述滑杆(52)的外周面上设有用于操作滑杆(52)转动的凸块(9)。
7.根据权利要求1所述的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述挡板(4)与背衬管(1)接触的面上设有由橡胶制成的防滑层(71)。
8.根据权利要求1所述的旋转硅铝靶材，其特征在于：所述背衬管(1)的端面上设有用于安装挡板(4)的沉槽(11)。
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