[实用新型]一种旋转硅铝靶材

说明书

本实用新型公开了一种旋转硅铝靶材，涉及溅镀技术领域，其技术方案要点是：包括背衬管以及套设在背衬管外的靶材体，所述靶材体与背衬管之间设有导电导热胶，还包括沿背衬管的轴向滑移设置在背衬管端部的支撑杆，所述支撑杆远离背衬管的一端设有与背衬管外周弧度相同的托板；所述背衬管的两端设有供支撑杆滑移的开口槽以及将开口槽的开口封闭的挡板，所述背衬管每端的支撑杆至少为两个且互相垂直设置。当运输时，将挡板拆卸下来，支撑杆从背衬管内取出，朝向背衬管外部再次安装到开口槽内，通过挡板固定。托板可以对相邻靶材的背衬管进行支撑以及限位，在运输时可以有效的避免靶材在运输箱内出现滚动，避免靶材在运输时出现碰撞损坏现象。

技术领域

本实用新型涉及溅镀技术领域，更具体地说，它涉及一种旋转硅铝靶材。

背景技术

磁控溅镀法是通过在溅镀系统中假装磁控装置，通过磁场与电铲之间的电磁效应改变电浆内电子的移动，达到提高游离率与溅镀效率的目的。现有技术中，为了提高靶材的使用率，普遍使用旋转靶材，可以在磁控溅镀工艺中可得到均匀的剥蚀表面，其不仅能将靶材使用率提升至70%-80%，更有助于延长靶材的使用寿命，降低制造成本，提高工艺产量。

公布号为CN107663630A的发明专利提供了一种旋转靶材，主要其包含靶材体、背衬管及接合件，接合件设置于靶材体与背衬管之间，且接合件包含可压缩结构与导电导热胶，利用接合件接合靶材体和背衬管，有利于简化旋转靶材的工艺，提升旋转靶材的溅镀效率。

但是在实际使用时，由于背衬管以及靶材体均是圆柱形的，在运输时，当将靶材码放到运输箱内的时候，靶材容易出现滚动现象，相邻两个靶材之间的固定效果不佳，在运输过程中靶材相互之间容易出现碰撞导致靶材的损坏。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种旋转硅铝靶材，可以使靶材更加稳定的码放在运输箱内进而避免靶材在运输过程中出现损坏。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种旋转硅铝靶材，包括背衬管以及套设在背衬管外的靶材体，所述靶材体与背衬管之间设有导电导热胶，还包括沿背衬管的轴向滑移设置在背衬管端部的支撑杆，所述支撑杆远离背衬管的一端设有与背衬管外周弧度相同的托板；所述背衬管的两端设有供支撑杆滑移的开口槽以及将开口槽的开口封闭的挡板，所述背衬管每端的支撑杆至少为两个且互相垂直设置。

通过采用上述技术方案：当运输时，将挡板拆卸下来，支撑杆从背衬管内取出，朝向背衬管外部再次安装到开口槽内，通过挡板固定。支撑杆可以有两种状态，一种是位于背衬管外的状态，此时可以用于运输中，对相邻的背衬管进行支撑定位。一种是位于背衬管内，此时背衬管处于使用中，背衬管的两端仍然可以保持圆周状态，不会影响背衬管的正常使用。托板可以对相邻靶材的背衬管进行支撑以及限位，在运输时可以有效的避免靶材在运输箱内出现滚动，避免靶材在运输时出现碰撞损坏现象。

作为优选，所述支撑杆包括与开口槽滑移连接的滑块以及与滑块螺纹连接的滑杆，所述滑杆沿背衬管的径向设置，所述托板设置在滑杆远离滑块的一端。

通过采用上述技术方案：将支撑杆做成可以伸缩的，这样可以调节托板与背衬管的距离，可以适应不同直径的靶材的支撑，并且可以根据运输箱的大小合理确定两个靶材之间的距离，提高了适应性。

作为优选，所述开口槽的侧壁上沿开口槽的长度方向设有导向槽，所述滑块与开口槽接触的侧面上设有与导向槽配合的导向块。

通过采用上述技术方案：设置导向槽与导向块，即可实现滑块与开口槽的滑移连接，并且支撑杆伸出以及收回时均可以实现支撑杆与导向槽的滑移，结构简单，操作方便。

作为优选，所述托板与滑杆的端部转动连接。

通过采用上述技术方案：这样即使托板已经与相邻的靶材上的背衬管抵接，也能够实现托板伸出量的调节，适应性强。