[实用新型]一种准分子激光退火腔室

权利要求书

1.一种准分子激光退火腔室，其特征在于，所述腔室的顶部包括透光区域和气体注入区域，所述透光区域和所述气体注入区域分开设置。

2.根据权利要求1所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述透光区域设置于所述腔室顶部的中心位置，所述气体注入区域设置于所述透光区域的外侧。

3.根据权利要求2所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述气体注入区域包括设置于所述透光区域外围的一个环状缝隙。

4.根据权利要求2所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述气体注入区域包括设置于所述透光区域外围的多个环状缝隙，所述多个环状缝隙以所述透光区域为中心依次向外排列。

5.根据权利要求3或4所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述环状缝隙是连续的。

6.根据权利要求3或4所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述环状缝隙是非连续的，由多个分段式缝隙单元构成。

7.根据权利要求3或4所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述环状缝隙的形状为矩形环状或椭圆形环状。

8.根据权利要求2所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述气体注入区域包括设置于所述透光区域长度方向两侧的第一注入区域和第二注入区域，所述第一注入区域和所述第二注入区域以所述透光区域为轴对称。

9.根据权利要求8所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述第一注入区域和所述第二注入区域各包括一个或多个方向一致的长条形缝隙，所述长条形缝隙与所述透光区域平行或垂直。

10.根据权利要求1所述的准分子激光退火腔室，其特征在于，所述透光区域为长条形缝隙。