[实用新型]一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉有效
| 申请号： | 201820338740.X | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN208121243U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王海 | 申请（专利权）人： | 福能科技江苏有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 陈臣 |
| 地址： | 223600 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 护板 多晶炉 坩埚 保温装置 多晶硅锭 本实用新型 对称设置 碳纤维板 硅锭 加热器 环形密封 冷却铜管 依次设置 正前方 保温圈 风门 硅板 首尾 生产 体内 | ||
1.一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体内的石墨护板和坩埚，所述坩埚设置在石墨护板上，其特征在于，所述石墨护板下方依次设置有加热器、硬碳纤维板、冷却铜管和风门，所述坩埚底部设置有位于石墨护板上方的软碳纤维板，所述坩埚正前方和后方对称设置有位于石墨护板上的水平保温装置，所述坩埚两侧外侧对称设置有位于石墨护板上的纵向保温装置，2个水平保温装置和2个纵向保温装置首尾相互连接成一个环形密封保温圈。
2.根据权利要求1所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述风门为矩形阵列的4个位于同一水平面的小风门组成。
3.根据权利要求2所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述4个小风门的外侧均设置有位于多晶炉体内壁上的水平伸缩驱动装置。
4.根据权利要求3所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述4个小风门上连接的水平伸缩驱动装置各自连接有控制开关。
5.根据权利要求1所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所软碳纤维板包括四边形板和同心设置在四边形板内的四方形板。
6.根据权利要求1所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述水平保温装置和纵向保温装置分别包括两个间隔设置的竖板、第一隔板和第二隔板，所述第一隔板设置在两个竖板之间，所述第二隔板平行设置在第一隔板上方。
7.根据权利要求6所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，其特征在于，所述第一隔板和第二隔板分别为带有网孔的耐高温板加工而成。
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