[实用新型]一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉

说明书

本实用新型公开了一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体内的石墨护板和坩埚，所述坩埚设置在石墨护板上，所述石墨护板下方依次设置有加热器、硬碳纤维板、冷却铜管和风门，所述坩埚底部设置有位于石墨护板上方的软碳纤维板，所述坩埚正前方和后方对称设置有位于石墨护板上的水平保温装置，所述坩埚两侧外侧对称设置有位于石墨护板上的纵向保温装置，2个水平保温装置和2个纵向保温装置首尾相互连接成一个环形密封保温圈。本实用新型所述的提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，通过对多晶炉内的特殊设计，提高了多晶硅锭长晶时温度控制均匀的特性，从而提高硅锭的内部质量，提高硅板的转化率，提升硅锭质量。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅锭生产技术领域，尤其涉及一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉。

背景技术

多晶炉是生产多晶硅锭主要的设备，将硅材料及其它配合材料装在坩埚内，然后将坩埚吊装在多晶炉内进行融化和长晶，从而形成多晶硅锭。

现有技术中生产的多晶硅锭时，采用的多晶炉大多数在炉体臂上设置保温板进行热量保留，提高炉体内硅锭长晶质量。但是，这种多晶炉存在、热量损失不均匀，从而使得坩埚内硅材料在长晶时内部温度下降不均匀，从而降低了硅锭生产质量，降低硅片转化效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，提高硅锭长晶的均匀度，从而提高硅锭生产质量和硅片转化效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体内的石墨护板和坩埚，所述坩埚设置在石墨护板上，所述石墨护板下方依次设置有加热器、硬碳纤维板、冷却铜管和风门，所述坩埚底部设置有位于石墨护板上方的软碳纤维板，所述坩埚正前方和后方对称设置有位于石墨护板上的水平保温装置，所述坩埚两侧外侧对称设置有位于石墨护板上的纵向保温装置，2个水平保温装置和2个纵向保温装置首尾相互连接成一个环形密封保温圈。

其中，所述风门为矩形阵列的4个位于同一水平面的小风门组成。

其中，所述4个小风门的外侧均设置有位于多晶炉体内壁上的水平伸缩驱动装置。

其中，所述4个小风门上连接的水平伸缩驱动装置各自连接有控制开关。

其中，所软碳纤维板包括四边形板和同心设置在四边形板内的四方形板。

其中，所述水平保温装置和纵向保温装置分别包括两个间隔设置的竖板、第一隔板和第二隔板，所述第一隔板设置在两个竖板之间，所述第二隔板平行设置在第一隔板上方。

其中，所述第一竖板和第二竖板分别为带有网孔的耐高温板加工而成。

本实用新型的有益效果：一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，通过对多晶炉内的特殊设计，提高了多晶硅锭长晶时温度控制均匀的特性，从而提高硅锭的内部质量，提高硅板的转化率，提升硅锭质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的中去掉坩埚的俯视图；

图3是风门结构示意图。

具体实施方式

下面结合图1~3并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。

一种提高多晶硅锭生产质量的多晶炉，包括设置在多晶炉体1内的石墨护板2和坩埚3，所述坩埚3设置在石墨护板2上，坩埚3用来装载多晶硅的原材料。