[实用新型]一种真空泵及其多级真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，包括带有内腔(11)的泵体(1)和贯穿于泵体(1)中心的转轴(2)，所述泵体(1)内开有连通内腔(11)的排气通道(12)，该排气通道(12)的排气口(13)位于泵体(1)的外壁上，其特征在于：所述泵体(1)与转轴(2)刚性连接而能随所述转轴(2)旋转，所述的转轴(2)内开有连通所述泵体的内腔(11)的进气通道(21)，该进气通道(21)的进气口(22)位于该转轴(2)的端面上。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：所述排气通道(12)位于与转轴(2)相垂直的平面上。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于：所述排气通道(12)由泵体(1)的内腔(11)侧向排气口(13)侧圆滑延伸，且延伸方向与转轴(2)运动方向相反。

4.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于：所述的泵体(1)由主体(1A)和泵盖(1B)组装而成，所述的内腔(11)和排气通道(12)位于主体(1A)与泵盖(1B)的接合面间，且在所述主体与泵盖(1B)的接合面之间设有用于密封所述内腔(11)和排气通道(12)的密封垫(3)。

5.根据权利要求4所述的真空泵，其特征在于：所述内腔(11)和排气通道(12)由开设在朝向泵盖(1B)的主体的端面上的凹槽和泵盖(1B)遮蔽而成。

6.根据权利要求1至5任一权利要求所述的真空泵，其特征在于：所述的排气通道(12)有多个，分别沿泵体(1)的周向均匀设置。

7.根据权利要求1至5任一权利要求所述的真空泵，其特征在于：所述进气通道(21)由一个与进气口相贯通的轴向通道(21A)和多个径向通道(21B)组成，各所述径向通道连通所述内腔(11)和轴向通道(21A)。

8.根据权利要求1至5任一权利要求所述的真空泵，其特征在于：所述泵体(1)和转轴(2)的接触部分之间设置有密封环(5)。

9.根据权利要求1至5任一权利要求所述的真空泵，其特征在于：所述转轴(2)两端支撑在机架(4)上。

10.一种多级真空泵，包括有多个如权利要求1至9任一权利要求所述的真空泵，其特征在于：各所述真空泵放置在各自的封闭壳体(7)内，所述转轴(2)上的进气口(22)外露于该壳体(7)，所述壳体(7)上则开有将所述排气口(13)的气体排出于壳体外的出气口(71)，相邻的壳体之间则设置有连接管(8)，该连接管(8)一端与相邻壳体中的后一壳体的出气口相连，该连接管(8)的另一端与相邻壳体中的外露于前一壳体的转轴(2)上的进气口相连。