[实用新型]一种立式多层连续真空磁控镀膜生产线有效
| 申请号： | 201820376147.4 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN208266263U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 张元胜 | 申请（专利权）人： | 东莞市悦目光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 东莞市科安知识产权代理事务所(普通合伙) 44284 | 代理人： | 曾毓芳 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜仓 隔断板 隔离室 磁控镀膜 固定螺栓 连续真空 多层 传送台 放置室 上端 镀膜 本实用新型 拆卸结构 连接固定 两端设置 气体流通 喷洒式 气体管 室内部 真空泵 辊筒 外接 下端 安置 | ||
1.一种立式多层连续真空磁控镀膜生产线，包括传送台(1)、隔断板(4)和辊筒(9)，其特征在于：所述传送台(1)的上端安装有镀膜仓(2)，且镀膜仓(2)的上端连接有真空泵(3)，所述隔断板(4)设置于镀膜仓(2)的内部，且隔断板(4)的外侧安装有固定螺栓(5)，所述隔断板(4)的下端安置有空气隔离室(6)，且空气隔离室(6)的左右两端设置有气体放置室(7)，所述气体放置室(7)的外侧连接有外接气体管(8)，所述辊筒(9)设置于镀膜仓(2)内部的下端，且辊筒(9)的外侧连接有传送皮带(10)，所述传送皮带(10)的下端安装有伺服电机(11)，所述传送台(1)的下端设置有控制面板(12)，且控制面板(12)的左右两侧均设置有底座(13)，所述底座(13)的内部固定有连接凹槽(14)，且连接凹槽(14)的外侧连接有连接凸块(15)，所述镀膜仓(2)的外侧安置有检视窗(16)。
2.根据权利要求1所述的一种立式多层连续真空磁控镀膜生产线，其特征在于：所述镀膜仓(2)通过隔断板(4)和固定螺栓(5)与空气隔离室(6)构成拆卸结构，且隔断板(4)与空气隔离室(6)构成一体化结构。
3.根据权利要求1所述的一种立式多层连续真空磁控镀膜生产线，其特征在于：所述隔断板(4)与固定螺栓(5)构成活动结构，且隔断板(4)与固定螺栓(5)之间的尺寸相吻合。
4.根据权利要求1所述的一种立式多层连续真空磁控镀膜生产线，其特征在于：所述气体放置室(7)与外接气体管(8)为一组，共有4组，且每两组之间关于镀膜仓(2)的中心线互相对称。
5.根据权利要求1所述的一种立式多层连续真空磁控镀膜生产线，其特征在于：所述辊筒(9)通过传送皮带(10)与伺服电机(11)构成转动结构，且其转动范围为0-360°。
6.根据权利要求1所述的一种立式多层连续真空磁控镀膜生产线，其特征在于：所述底座(13)通过连接凹槽(14)与连接凸块(15)构成螺纹结构，且连接凸块(15)垂直贯穿于连接凹槽(14)的内部。
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