[实用新型]硅片托举装置

权利要求书

1.一种硅片托举装置，其特征在于，包括：

底框；

滑移块，所述滑移块滑动安装于所述底框上；且所述滑移块能在所述底框上沿X方向移动；

第一升降组件，滑动安装于所述滑移块上；且所述第一升降组件能在所述滑移块上沿Y方向移动；所述第一升降组件包括第一升降板，所述第一升降板能在所述第一升降组件上沿Z方向移动；

托架，所述托架的第一端与所述第一升降板固定连接，所述托架的第二端沿X方向延伸；

第二升降组件，固定于所述底框上，所述第二升降组件包括第二升降板，所述第二升降板支撑所述托架的第二端，所述第二升降板能在所述升降组件上沿Z方向移动，且所述第二升降板与所述第一升降板的移动保持同步。

2.根据权利要求1所述的硅片托举装置，其特征在于，所述底框上设有两相互平行且沿X方向的第一轨道；所述滑移块的两端滑动安装于两所述第一轨道上；

所述滑移块上设置有沿Y方向的第二轨道；所述第一升降组件滑动安装于所述第二轨道上。

3.根据权利要求2所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第一升降组件还包括第一安装板；所述第一安装板滑动安装于所述第二轨道上；

所述第一安装板设置有沿Z方向的第三轨道，所述第一升降板滑动安装于所述第三轨道上。

4.根据权利要求3所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第一升降组件还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置设置于所述第一安装板上，所述第一驱动装置与所述第一升降板传动连接，用于驱动所述第一升降板沿所述第三轨道滑动。

5.根据权利要求1所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第二升降组件还包括第二安装板，所述第二安装板设置于所述底框上，所述第二安装板设置有沿Z方向的第四轨道，所述第二升降板滑动安装于所述第四轨道上。

6.根据权利要求5所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第二升降组件还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置设置于所述第二安装板上，所述第二驱动装置与所述第二升降板传动连接，用于驱动所述第二升降板沿所述第四轨道滑动。

7.根据权利要求5所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第二升降板包括连接板和支撑板，所述连接板和所述支撑板成L形固定连接，所述连接板与所述第四轨道滑动连接，所述支撑板上设置有导轮，所述导轮支撑所述托架的第二端。

8.根据权利要求1所述的硅片托举装置，其特征在于，所述托架包括固定板和托举板，所述固定板与所述托举板成L形固定连接，所述固定板与所述第一升降板固定连接，所述托举板沿X方向延伸。

9.根据权利要求8所述的硅片托举装置，其特征在于，所述托举板上设置有U形槽。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的硅片托举装置，其特征在于，还包括滑移驱动装置，所述滑移驱动装置连接于所述底框上，用于驱动所述滑移块沿X方向滑动。