[实用新型]硅片托举装置有效

专利信息
申请号: 201820379256.1 申请日: 2018-03-20
公开(公告)号: CN207896071U 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 许明现;李文博;郭政;蔡涔 申请(专利权)人: 君泰创新(北京)科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 北京维澳专利代理有限公司 11252 代理人: 杨洁;周放
地址: 100176 北京市大兴区北京经*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 升降组件 托架 升降板 滑移块 底框 本实用新型 滑动安装 托举装置 硅片 托盘 同步移动 同步运行 托架移动 第一端 平稳性 支撑点 端沿 支撑 晃动 保证
【说明书】:

实用新型公开了一种硅片托举装置,包括底框、滑移块、第一升降组件、托架和第二升降组件;滑移块滑动安装于底框上;且能在底框上沿X方向移动;第一升降组件滑动安装于滑移块上;且能在滑移块上沿Y方向移动,第一升降组件包括能在第一升降组件上沿Z方向移动的第一升降板;托架的第一端与第一升降板固定连接,第二端沿X方向延伸;第二升降组件固定于底框上,第二升降板支撑在托架的第二端上,且包括能与第一升降板同步沿Z方向移动的第二升降板。本实用新型中,托架的两端分别被第一和第二升降组件支撑,且第一和第二升降组件同步运行,保证托架的两端同步移动的前提下,增加托架的支撑点,避免托架移动过程中的晃动,增加托盘平稳性。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种硅片托举装置。

背景技术

太阳能电池是未来公认的可大规模推广应用的清洁能源之一,随着能源不断减少,且其他能源的使用会带来不可估量的环境污染,人们对清洁能源越来的呼声越来越高,并伴随着国家环保意识的加强,我国也是大力支持这一发电方式,尤其对高效电池方面支持力度逐年上升,而高效异质结电池作为高效电池发电效率前列,在高效电池领域中占据很大的比重。

制备该类电池中最为关键的工序和设备就是PECVD制备工艺与设备,而其中硅片的传送作为该工序的一个重要环节,即由传送装置将硅片原片传送到PECVD腔室前,再通过移载机构带动已排布好硅片原片的托盘放置到PECVD的腔室中。由于托盘对应的托架约2.5米左右,并且其尺寸有严格的控制,由于自身刚性和长度原因,很容易造成移载机构托举和下降时产生晃动,那么如何实现托盘的平稳升降,是摆在设计人员面前一大难题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片托举装置,以解决上述问题,保证硅片在托盘上的位置准确,不受升降、输送过程的颤抖和摆动情况的影响,确保硅片的精确输送。

本实用新型提供的硅片托举装置,包括:

底框;

滑移块,所述滑移块滑动安装于所述底框上;且所述滑移块能在所述底框上沿X方向移动;

第一升降组件,滑动安装于所述滑移块上;且所述第一升降组件能在所述滑移块上沿Y方向移动;所述第一升降组件包括第一升降板,所述第一升降板能在所述第一升降组件上沿Z方向移动;

托架,所述托架的第一端与所述第一升降板固定连接,所述托架的第二端沿X方向延伸;

第二升降组件,固定于所述底框上,所述第二升降组件包括第二升降板,所述第二升降板支撑所述托架的第二端,所述第二升降板能在所述升降组件上沿Z方向移动,且所述第二升降板与所述第一升降板的移动保持同步。

如上所述的硅片托举装置,其中,优选的是,所述底框上设有两相互平行且沿X方向的第一轨道;所述滑移块的两端滑动安装于两所述第一轨道上;

所述滑移块上设置有沿Y方向的第二轨道;所述第一升降组件滑动安装于所述第二轨道上。

如上所述的硅片托举装置,其中,优选的是,所述第一升降组件还包括第一安装板;所述第一安装板滑动安装于所述第二轨道上;

所述第一安装板设置有沿Z方向的第三轨道,所述第一升降板滑动安装于所述第三轨道上。

如上所述的硅片托举装置,其中,优选的是,所述第一升降组件还包括第一驱动装置,所述第一驱动装置设置于所述第一安装板上,所述第一驱动装置与所述第一升降板传动连接,用于驱动所述第一升降板沿所述第三轨道滑动。

如上所述的硅片托举装置,其中,优选的是,所述第二升降组件还包括第二安装板,所述第二安装板设置于所述底框上,所述第二安装板设置有沿Z方向的第四轨道,所述第二升降板滑动安装于所述第四轨道上。

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