[实用新型]一种自动硅片匀胶机有效

专利信息
申请号: 201820387208.7 申请日: 2018-03-21
公开(公告)号: CN208194823U 公开(公告)日: 2018-12-07
发明(设计)人: 孙德付 申请(专利权)人: 无锡升滕半导体技术有限公司
主分类号: B05C11/08 分类号: B05C11/08;B05D3/02;B05D3/04
代理公司: 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 代理人: 段小丽
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 固化定型 匀胶机 本实用新型 胶层 托盘 工作效率 装置设置 成品率 未固化 散热 烘干 匀胶 加热 保证
【权利要求书】:

1.一种自动硅片匀胶机,其特征在于:包括匀胶机本体(1),所述匀胶机本体(1)的托盘(2)内设置有固化定型装置(3),所述固化定型装置(3)设置在硅片(10)的上方,且所述固化定型装置(3)向硅片(10)散热设置。

2.根据权利要求1所述的一种自动硅片匀胶机,其特征在于:所述固化定型装置(3)包括基座(4)、散热座(6)和支撑柱(5),所述基座(4)为环形柱状结构,所述基座(4)同轴设置在托盘(2)的底面,所述基座(4)的上表面凹设有若干插孔(16);所述散热座(6)为柱形结构,所述散热座(6)的底部设置有若干支撑柱(5),所述支撑柱(5)的底端可拆卸式的插设在所述插孔(16)内,所述散热座(6)通过若干支撑柱(5)架设在硅片(10)的上方。

3.根据权利要求2所述的一种自动硅片匀胶机,其特征在于:所述散热座(6)的底面凹设有散热腔(9),所述散热腔(9)内部设置有加热元件(12),所述散热腔(9)的开口处设置有散热盖(11),所述散热盖(11)上贯通开设有散热风口(13)。

4.根据权利要求3所述的一种自动硅片匀胶机,其特征在于:所述加热元件(12)为加热电阻丝,所述加热电阻丝为螺旋形排布设置,所述加热电阻丝的螺旋面与硅片(10)所在的平面平行。

5.根据权利要求4所述的一种自动硅片匀胶机,其特征在于:所述散热风口(13)为螺旋状设置,且所述散热风口(13)的散热通道与加热电阻丝在轴向方向上对应设置。

6.根据权利要求2所述的一种自动硅片匀胶机,其特征在于:还包括固定机构,至少两组所述固定机构对称设置在基座(4)的两侧,且所述散热座(6)通过固定机构紧固设置在基座(4)的上方。

7.根据权利要求6所述的一种自动硅片匀胶机,其特征在于:所述固定机构包括卡板(7),所述卡板(7)为“7”字形结构,所述卡板(7)的横端为卡舌部(22),所述卡板(7)的长杆端为连接部(21),所述连接部(21)与卡舌部(22)为一体成型的弹性塑料结构,所述连接部(21)的自由端通过铰接件(15)铰接设置在基座(4)的侧壁上,所述卡舌部(22)通过连接部(21)的转动压覆在散热座(6)的上表面。

8.根据权利要求7所述的一种自动硅片匀胶机,其特征在于:还包括止动销(8),所述卡舌部(22)为板状结构,贯通所述卡舌部(22)开设有销孔(23),所述散热座(6)的上表面凹设有与销孔(23)对应的凹孔(24),所述止动销(8)穿过销孔(23)活动插设在凹孔(24)内。

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