[实用新型]一种自动硅片匀胶机

说明书

本实用新型公开了一种自动硅片匀胶机，包括匀胶机本体，所述匀胶机本体的托盘内设置有固化定型装置，所述固化定型装置设置在硅片的上方，且所述固化定型装置向硅片散热设置。本实用新型的固化定型装置在硅片进行匀胶的过程中就对胶层进行加热和烘干，不仅节省了取拿的时间，提高了工作效率，而且还避免了还未固化的胶层在取拿时遭到意外损坏，保证了成品率。

技术领域

本实用新型属于匀胶设备领域，特别涉及一种自动硅片匀胶机。

背景技术

近年来，硅片的发展和应用十分广阔，在硅片上一般都要进行涂胶，涂胶的过程中采用匀胶设备进行离心匀胶，匀胶的作用主要是将光刻胶涂平，利用高速旋转的离心力。匀胶后会高温处理，蒸发掉其中水分，然后定型，现有的方法是将匀胶后的硅片拿到加温腔或者加热设备上进行热化处理，使胶层固化定型，但是在取拿硅片的过程中，容易造成涂胶的损坏，十分麻烦。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种自动硅片匀胶机，可在匀胶过程中对涂胶层进行加热固化和定型，避免了胶层的损坏。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种自动硅片匀胶机，包括匀胶机本体，所述匀胶机本体的托盘内设置有固化定型装置，所述固化定型装置设置在硅片的上方，且所述固化定型装置向硅片散热设置。

进一步的，所述固化定型装置包括基座、散热座和支撑柱，所述基座为环形柱状结构，所述基座同轴设置在托盘的底面，所述基座的上表面凹设有若干插孔；所述散热座为柱形结构，所述散热座的底部设置有若干支撑柱，所述支撑柱的底端可拆卸式的插设在所述插孔内，所述散热座通过若干支撑柱架设在硅片的上方。

进一步的，所述散热座的底面凹设有散热腔，所述散热腔内部设置有加热元件，所述散热腔的开口处设置有散热盖，所述散热盖上贯通开设有散热风口。

进一步的，所述加热元件为加热电阻丝，所述加热电阻丝为螺旋形排布设置，所述加热电阻丝的螺旋面与硅片所在的平面平行。

进一步的，所述散热风口为螺旋状设置，且所述散热风口的散热通道与加热电阻丝在轴向方向上对应设置。

进一步的，还包括固定机构，至少两组所述固定机构对称设置在基座的两侧，且所述散热座通过固定机构紧固设置在基座的上方。

进一步的，所述固定机构包括卡板，所述卡板为“7”字形结构，所述卡板的横端为卡舌部，所述卡板的长杆端为连接部，所述连接部与卡舌部为一体成型的弹性塑料结构，所述连接部的自由端通过铰接件铰接设置在基座的侧壁上，所述卡舌部通过连接部的转动压覆在散热座的上表面。

进一步的，还包括止动销，所述卡舌部为板状结构，贯通所述卡舌部开设有销孔，所述散热座的上表面凹设有与销孔对应的凹孔，所述止动销穿过销孔活动插设在凹孔内。

有益效果：本实用新型的固化定型装置在硅片进行匀胶的过程中就对胶层进行加热和烘干，不仅节省了取拿的时间，提高了工作效率，而且还避免了还未固化的胶层在取拿时遭到意外损坏，保证了成品率。

附图说明

附图1为本实用新型的整体结构示意图；

附图2为本实用新型的整体结构的半剖示意图；

附图3为本实用新型的整体的内部结构示意图；

附图4为本实用新型的散热座的结构爆炸示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。