[实用新型]一种共面解耦的XY高精运动平台

权利要求书

1.一种共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，包括：第一底座、第二底座、第一运动组件、第二运动组件和动平台；

所述第一底座、所述第一运动组件、所述第二底座、所述第二运动组件和所述动平台从下往上依次层叠设置；

所述第一运动组件的第一运动方向和所述第二运动组件的第二运动方向相互垂直；

所述动平台由子动平台、第一辅助运动件和第二辅助运动件两两之间连接构成；

所述第一运动组件用于带动所述动平台进行沿所述第一运动方向的宏运动；

所述第二运动组件用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第二运动方向的宏运动；

所述第一运动组件还用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第一运动方向的微运动；

所述第二运动组件还用于在所述第一辅助运动件和所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台进行沿所述第二运动方向的微运动。

2.根据权利要求1所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述第一运动组件包括：第一宏运动件和与所述第一宏运动件弹性连接的第一宏微运动件，两者之间设有第一压电陶瓷；

所述第二运动组件包括：第二宏运动件和与所述第二宏运动件弹性连接的第二宏微运动件，两者之间设有第二压电陶瓷。

3.根据权利要求2所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述第一宏运动件上具有第一延伸件，所述第一延伸件具有第一空槽；所述第一宏微运动件上具有容纳所述第一延伸件的第一空腔，所述第一空腔上设有用于嵌入所述第一空槽非端部的第一凸起；

所述第二宏运动件上具有第二延伸件，所述第二延伸件具有第二空槽；所述第二宏微运动件上具有容纳所述第二延伸件的第二空腔，所述第二空腔上设有用于嵌入所述第二空槽非端部的第二凸起。

4.根据权利要求3所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述第一压电陶瓷设置在所述第一空槽内并位于所述第一凸起的一侧，所述第一空槽内且所述第一凸起的另一侧设有第一高钢弹簧；

所述第二压电陶瓷设置在所述第二空槽内并位于所述第二凸起的一侧，所述第二空槽内且所述第二凸起的另一侧设有第二高钢弹簧。

5.根据权利要求2至4任意一项所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述第一宏运动件与所述第二辅助运动件滑动连接，所述第一宏微运动件与所述子动平台滑动连接；

所述第二宏运动件与所述第一辅助运动件滑动连接，所述第二宏微运动件与所述子动平台滑动连接。

6.根据权利要求5所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，还包括：第一电机和第二电机；

所述第一电机的定子安装于所述第一底座上；

所述第二电机的定子安装于所述第二底座上；

所述第一宏运动件上具有第一L型运动件，所述第一L型运动件为所述第一电机的动子；

所述第二宏运动件上具有第二L型运动件，所述第二L型运动件为所述第二电机的动子。

7.根据权利要求1所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述子动平台和所述第一辅助运动件均具有滑轨，所述第二辅助运动件具有与所述子动平台和所述第一辅助运动件的所述滑轨相匹配的滑槽。

8.根据权利要求7所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述子动平台具有第三凸起，所述第一辅助运动件具有容纳所述第三凸起的凹槽。

9.根据权利要求6所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述第一电机的定子两旁设置有第一导轨，所述第一导轨用于设置所述第一运动组件；

所述第二电机的定子两旁设置有第二导轨，所述第二导轨用于设置所述第二运动组件。

10.根据权利要求6所述的共面解耦的XY高精运动平台，其特征在于，所述第一电机和所述第二电机均为U型槽直线电机。