[实用新型]一种共面解耦的XY高精运动平台

说明书

本实用新型实施例提供了一种共面解耦的XY高精运动平台，通过将第一底座、第一运动组件、第二底座、第二运动组件和动平台以层叠式的结构呈现，能够有效利用空间、精简整个平台的架构并简化组件的组成，且由于第一运动组件和第二运动组件的运动方向垂直，将动平台拆成三块子组件，通过第一运动组件和第二运动组件的各自运动来控制动平台的整体运动以及子组件之间的相对运动，在同一平面对宏微两级(共四个驱动源)并行驱动实现双重解耦，实现XY方向上的宏微复合运动，实现平面空间位置的精准定位。

技术领域

本实用新型涉及微电子制造加工领域，尤其涉及一种共面解耦的XY高精运动平台。

背景技术

随着微电子制造业的高速发展，微电子产品高质量高产能的制造，微电子制造装备对其核心运动平台及系统在空间利用率、行程、速度、加速度、运动稳定性等方面提出了极高的综合性要求。

现有的XY平台大多采用两个电机串联的模式组合而成，结构系统不紧凑，空间利用率不高，并存在着连带环节冗杂，运动组件多，负载大等缺陷，难以很好的满足高速运动与精密定位要求。

实用新型内容

本实用新型公开了一种共面解耦的XY高精运动平台，能够有效利用空间，并能实现在高速运动环境下的精密定位。

本发明提供了一种共面解耦的XY高精运动平台，包括：第一底座、第二底座、第一运动组件、第二运动组件和动平台；

所述第一底座、所述第一运动组件、所述第二底座、所述第二运动组件和所述动平台从下往上依次层叠设置；

所述第一运动组件的第一运动方向和所述第二运动组件的第二运动方向相互垂直；

所述动平台由子动平台、第一辅助运动件和第二辅助运动件两两之间连接构成；

所述第一运动组件用于带动所述动平台进行沿所述第一运动方向的宏运动；

所述第二运动组件用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第二运动方向的宏运动；

所述第一运动组件还用于在所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台和所述第一辅助运动件进行沿所述第一运动方向的微运动；

所述第二运动组件还用于在所述第一辅助运动件和所述第二辅助运动件固定时，带动所述子动平台进行沿所述第二运动方向的微运动。

优选地，所述第一运动组件包括：第一宏运动件和与所述第一宏运动件弹性连接的第一宏微运动件，两者之间设有第一压电陶瓷；

所述第二运动组件包括：第二宏运动件和与所述第二宏运动件弹性连接的第二宏微运动件，两者之间设有第二压电陶瓷。

优选地，所述第一宏运动件上具有第一延伸件，所述第一延伸件具有第一空槽；所述第一宏微运动件上具有容纳所述第一延伸件的第一空腔，所述第一空腔上设有用于嵌入所述第一空槽非端部的第一凸起；

所述第二宏运动件上具有第二延伸件，所述第二延伸件具有第二空槽；所述第二宏微运动件上具有容纳所述第二延伸件的第二空腔，所述第二空腔上设有用于嵌入所述第二空槽非端部的第二凸起。

优选地，所述第一压电陶瓷设置在所述第一空槽内并位于所述第一凸起的一侧，所述第一空槽内且所述第一凸起的另一侧设有第一高钢弹簧；

所述第二压电陶瓷设置在所述第二空槽内并位于所述第二凸起的一侧，所述第二空槽内且所述第二凸起的另一侧设有第二高钢弹簧。

优选地，所述第一宏运动件与所述第二辅助运动件滑动连接，所述第一宏微运动件与所述子动平台滑动连接；

所述第二宏运动件与所述第一辅助运动件滑动连接，所述第二宏微运动件与所述子动平台滑动连接。