[实用新型]一种汞灯灯室有效

专利信息
申请号: 201820409916.6 申请日: 2018-03-26
公开(公告)号: CN207946644U 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 赵峰 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 椭球反射镜 移动架 汞灯灯室 汞灯 本实用新型 固定架 容纳腔 灯室 维修和更换 光刻曝光 移出 容纳 移动 维护
【权利要求书】:

1.一种汞灯灯室,包括灯室本体,汞灯(2)和椭球反射镜(3),所述汞灯(2)设置于所述椭球反射镜(3)内,其特征在于,所述灯室本体包括:

移动架(11),所述椭球反射镜(3)固定连接于所述移动架(11)上;以及

固定架(12),具有容纳所述移动架(11)的容纳腔,所述移动架(11)能相对于所述固定架(12)移动以带动所述椭球反射镜(3)移出所述容纳腔。

2.根据权利要求1所述的汞灯灯室,其特征在于,所述汞灯灯室还包括:

导轨组件(4),包括滑轨(41)和滑槽(42),所述固定架(12)和所述移动架(11)中的一个设置有所述滑轨(41),另一个设置有所述滑槽(42),所述滑轨(41)与所述滑槽(42)滑动配合。

3.根据权利要求2所述的汞灯灯室,其特征在于,所述滑轨(41)与所述移动架(11)固定连接,且所述滑轨(41)有两根,两根所述滑轨(41)分别水平设置在所述椭球反射镜(3)的相对两侧。

4.根据权利要求3所述的汞灯灯室,其特征在于,所述汞灯灯室还包括:

定位组件(5),所述定位组件(5)包括:

竖向定位组(51),用于在竖直方向,对所述移动架(11)和所述固定架(12)的相对位置进行定位;以及

横向定位组(52),用于在垂直于所述滑轨(41)的水平方向,对所述移动架(11)和所述固定架(12)的相对位置进行定位。

5.根据权利要求4所述的汞灯灯室,其特征在于,所述竖向定位组(51)包括:第一定位凸起与第一定位卡槽(513),两者中的一个设置在所述移动架(11)上,另一个设置在所述固定架(12)上,所述第一定位卡槽(513)的槽宽沿竖直方向设置,所述第一定位凸起能卡接在所述第一定位卡槽(513)中;

所述横向定位组(52)包括:第二定位凸起和第二定位卡槽(523),两者中的一个设置在所述移动架(11)上,另一个设置在所述固定架(12)上,所述第二定位卡槽(523)的槽宽沿垂直于所述滑轨(41)的水平方向,所述第二定位凸起能卡接在所述第二定位卡槽(523)中。

6.根据权利要求5所述的汞灯灯室,其特征在于,所述第一定位凸起为第一定位滚轮(511),所述第一定位滚轮(511)的轴线水平设置且垂直于所述滑轨(41);

所述第二定位凸起为第二定位滚轮(521),所述第二定位滚轮(521)的轴线竖直设置。

7.根据权利要求6所述的汞灯灯室,其特征在于,所述固定架(12)朝向所述容纳腔的开口的一侧固定连接有连接座(122),所述移动架(11)竖直设置有连接板(113),所述连接座(122)上设置有所述第一定位滚轮(511)和所述第二定位滚轮(521),所述连接板(113)上开设有所述第一定位卡槽(513)和所述第二定位卡槽(523)。

8.根据权利要求7所述的汞灯灯室,其特征在于,所述汞灯灯室还包括锁紧组件(7),所述锁紧组件(7)包括锁紧块(71)和锁紧螺栓(72),所述锁紧块(71)与所述连接座(122)固定连接,所述连接板(113)与所述锁紧块(71)通过所述锁紧螺栓(72)固定。

9.根据权利要求8所述的汞灯灯室,其特征在于,所述移动架(11)对应于所述锁紧组件(7)的位置开设有维护窗口,所述维护窗口的一边转动连接有窗口挡板(115)。

10.根据权利要求7所述的汞灯灯室,其特征在于,所述汞灯灯室还包括缓冲组件(6),所述缓冲组件(6)包括间隔设置在所述连接座(122)上的弹性件,所述弹性件设置在所述连接座(122)和所述连接板(113)之间。

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