[实用新型]一种汞灯灯室有效
申请号: | 201820409916.6 | 申请日: | 2018-03-26 |
公开(公告)号: | CN207946644U | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 赵峰 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 椭球反射镜 移动架 汞灯灯室 汞灯 本实用新型 固定架 容纳腔 灯室 维修和更换 光刻曝光 移出 容纳 移动 维护 | ||
1.一种汞灯灯室,包括灯室本体,汞灯(2)和椭球反射镜(3),所述汞灯(2)设置于所述椭球反射镜(3)内,其特征在于,所述灯室本体包括:
移动架(11),所述椭球反射镜(3)固定连接于所述移动架(11)上;以及
固定架(12),具有容纳所述移动架(11)的容纳腔,所述移动架(11)能相对于所述固定架(12)移动以带动所述椭球反射镜(3)移出所述容纳腔。
2.根据权利要求1所述的汞灯灯室,其特征在于,所述汞灯灯室还包括:
导轨组件(4),包括滑轨(41)和滑槽(42),所述固定架(12)和所述移动架(11)中的一个设置有所述滑轨(41),另一个设置有所述滑槽(42),所述滑轨(41)与所述滑槽(42)滑动配合。
3.根据权利要求2所述的汞灯灯室,其特征在于,所述滑轨(41)与所述移动架(11)固定连接,且所述滑轨(41)有两根,两根所述滑轨(41)分别水平设置在所述椭球反射镜(3)的相对两侧。
4.根据权利要求3所述的汞灯灯室,其特征在于,所述汞灯灯室还包括:
定位组件(5),所述定位组件(5)包括:
竖向定位组(51),用于在竖直方向,对所述移动架(11)和所述固定架(12)的相对位置进行定位;以及
横向定位组(52),用于在垂直于所述滑轨(41)的水平方向,对所述移动架(11)和所述固定架(12)的相对位置进行定位。
5.根据权利要求4所述的汞灯灯室,其特征在于,所述竖向定位组(51)包括:第一定位凸起与第一定位卡槽(513),两者中的一个设置在所述移动架(11)上,另一个设置在所述固定架(12)上,所述第一定位卡槽(513)的槽宽沿竖直方向设置,所述第一定位凸起能卡接在所述第一定位卡槽(513)中;
所述横向定位组(52)包括:第二定位凸起和第二定位卡槽(523),两者中的一个设置在所述移动架(11)上,另一个设置在所述固定架(12)上,所述第二定位卡槽(523)的槽宽沿垂直于所述滑轨(41)的水平方向,所述第二定位凸起能卡接在所述第二定位卡槽(523)中。
6.根据权利要求5所述的汞灯灯室,其特征在于,所述第一定位凸起为第一定位滚轮(511),所述第一定位滚轮(511)的轴线水平设置且垂直于所述滑轨(41);
所述第二定位凸起为第二定位滚轮(521),所述第二定位滚轮(521)的轴线竖直设置。
7.根据权利要求6所述的汞灯灯室,其特征在于,所述固定架(12)朝向所述容纳腔的开口的一侧固定连接有连接座(122),所述移动架(11)竖直设置有连接板(113),所述连接座(122)上设置有所述第一定位滚轮(511)和所述第二定位滚轮(521),所述连接板(113)上开设有所述第一定位卡槽(513)和所述第二定位卡槽(523)。
8.根据权利要求7所述的汞灯灯室,其特征在于,所述汞灯灯室还包括锁紧组件(7),所述锁紧组件(7)包括锁紧块(71)和锁紧螺栓(72),所述锁紧块(71)与所述连接座(122)固定连接,所述连接板(113)与所述锁紧块(71)通过所述锁紧螺栓(72)固定。
9.根据权利要求8所述的汞灯灯室,其特征在于,所述移动架(11)对应于所述锁紧组件(7)的位置开设有维护窗口,所述维护窗口的一边转动连接有窗口挡板(115)。
10.根据权利要求7所述的汞灯灯室,其特征在于,所述汞灯灯室还包括缓冲组件(6),所述缓冲组件(6)包括间隔设置在所述连接座(122)上的弹性件,所述弹性件设置在所述连接座(122)和所述连接板(113)之间。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司,未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820409916.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于多摄像头模组校准的光源设备
- 下一篇:打印材料容器和电路板