[实用新型]一种汞灯灯室

说明书

本实用新型属于光刻曝光技术领域，具体公开了一种汞灯灯室，包括灯室本体和椭球反射镜，所述椭球反射镜内设置有汞灯；所述灯室本体包括：移动架，所述椭球反射镜固定连接于所述移动架上；以及固定架，具有容纳所述移动架的容纳腔，所述移动架能相对于所述固定架移动以带动所述椭球反射镜移出所述容纳腔。本实用新型公开的汞灯灯室，能提高汞灯维护和更换的效率及安全性，使汞灯维修和更换更为方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及光刻曝光技术领域，尤其涉及一种汞灯灯室。

背景技术

在半导体制造领域中，如集成电路、液晶显示器等，常常需要使用各种功率的汞灯作为光源。而为了保证更高的曝光产率和制造效率，则需要保证汞灯光源的稳定性，因此当汞灯功率衰减至影响产率时，则需要对其进行更换。

现有技术中的汞灯灯室包括灯室本体和设置在灯室本体中的汞灯和椭球反射镜等，灯室本体上设置有维护窗口，当需要对汞灯进行更换时，需要先拆卸维护窗口，再将汞灯从该维护窗口处倾斜取出，以对汞灯进行更换。

在上述汞灯灯室中，由于灯室的特殊结构影响，椭球反射镜将会占用绝大部分空间，因此维护窗口的尺寸设计上将会受到很大限制，而小维护窗口拆卸一般都涉及到螺钉的拆卸，加大了螺钉掉落至灯室内部风险；且由于空间限制，汞灯更换的操作空间较小，增大了操作过程中的安全风险，限制了汞灯维护更换时的效率，并进一步影响机台宕机时间，从而影响到产线产率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种汞灯灯室，以提高汞灯更换和维修的效率，同时提高汞灯更换和维修过程的安全性。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

一种汞灯灯室，包括灯室本体、汞灯和椭球反射镜，所述汞灯设置在所述椭球反射镜内，所述灯室本体包括：

移动架，所述椭球反射镜固定连接于所述移动架上；以及

固定架，具有容纳所述移动架的容纳腔，所述移动架能相对于与所述固定架移动以带动所述椭球反射镜移出所述容纳腔。

进一步地，所述汞灯灯室还包括：导轨组件，包括滑轨和滑槽，所述固定架和所述移动架中的一个设置有所述滑轨，另一个设置有所述滑槽，所述滑轨与所述滑槽滑动配合。

进一步地，所述滑轨与所述移动架固定连接，且所述滑轨有两根，两根所述滑轨分别水平设置在所述椭球反射镜的相对两侧。

进一步地，所述汞灯灯室还包括：

定位组件，所述定位组件包括：

竖向定位组，用于在竖直方向，对所述移动架和所述固定架的相对位置进行定位；以及

横向定位组，用于在垂直于所述滑轨的水平方向，对所述移动架和所述固定架的相对位置进行定位。

进一步地，所述竖向定位组包括：第一定位凸起与第一定位卡槽，两者中的一个设置在所述移动架上，另一个设置在所述固定架上，所述第一定位卡槽的槽宽沿竖直方向设置，所述第一定位凸起能卡接在所述第一定位卡槽中；

所述横向定位组包括：第二定位凸起和第二定位卡槽，两者中的一个设置在所述移动架上，另一个设置在所述固定架上，所述第二定位卡槽的槽宽沿垂直于所述滑轨的水平方向，所述第二定位凸起能卡接在所述第二定位卡槽中。

进一步地，所述第一定位凸起为第一定位滚轮，所述第一定位滚轮的轴线水平设置且垂直于所述滑轨；

所述第二定位凸起为第二定位滚轮，所述第二定位滚轮的轴线竖直设置。

进一步地，所述固定架朝向所述容纳腔的开口的一侧固定连接有连接座，所述移动架竖直设置有连接板，所述连接座上设置有所述第一定位滚轮和所述第二定位滚轮，所述连接板上开设有所述第一定位卡槽和所述第二定位卡槽。