[实用新型]半导体封装一体机有效
申请号: | 201820417167.1 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN208093518U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 徐大林 | 申请(专利权)人: | 深圳市佳思特光电设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44297 | 代理人: | 胡清方;彭友华 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 支架 固晶装置 自动合片 点胶机构 自动供料 点胶 多片 晶圆 半导体封装 晶圆盘 一体机 本实用新型 生产成本低 封装过程 封装效率 工作平台 支架搬运 支架合并 自动提供 固晶 封装 半导体 搬运 | ||
1.一种半导体封装一体机,包括工作平台,其特征在于:在所述工作平台上设置有多片循环点胶机构、自动供料机构、固晶装置和自动合片装置,所述多片循环点胶机构对第一支架进行点胶,并且将第一支架搬运到所述固晶装置上,所述自动供料机构自动提供晶圆盘,所述固晶装置将晶圆盘上的晶圆固定在第一支架上,固晶完成后,第一支架被搬运到所述自动合片装置上,所述自动合片装置对第二支架点胶,并将第二支架和第一支架合在一起。
2.根据权利要求1所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述多片循环点胶机构包括在所述工作平台上设置有支架存储平台、支架搬运装置、点胶平台和点胶装置,在所述点胶平台上设置有两个支架固定位置,在所述点胶装置上间隔预定距离设置有两个点胶头;所述支架搬运装置将所述支架存储平台上的第一支架搬运到两个所述支架固定位置上,两个所述点胶头对所述支架固定位置上的其中一个第一支架进行点胶,点胶完成后,两个所述点胶头对另一个第一支架进行点胶,所述支架搬运装置将点完胶的第一支架搬运出去,并且所述支架搬运装置将所述支架存储平台上的第三个第一支架搬运到空置的所述支架固定位置上,并循环工作。
3.根据权利要求2所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述支架存储平台包括存储平台板和存储立柱,在所述存储平台板上设置有若干存储固定孔,所述存储立柱的下端可拆卸地安装在所述存储固定孔中。
4.根据权利要求1或2所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述自动供料机构包括在所述工作平台上设置有两个晶圆台移动装置、两个晶圆台、上料移动装置和供料机械手,两个所述晶圆台移动装置分别位于所述上料移动装置的两侧,两个所述晶圆台分别设置在两个所述晶圆台移动装置上,所述供料机械手与所述上料移动装置连接;所述上料移动装置驱动所述供料机械手在两个所述晶圆台移动装置之间来回移动,并在所述晶圆台上取放晶圆盘。
5.根据权利要求4所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述供料机械手包括旋转电机、转动固定架和两个夹料结构,所述旋转电机驱动所述转动固定架转动,两个所述夹料结构成预定夹角设置在所述转动固定架上;其中一个所述夹料结构用于夹取所述晶圆台上的取完晶圆片的晶圆盘,则另一个所述夹料结构将夹取的布满晶圆片的晶圆盘放置在所述晶圆台上。
6.根据权利要求1或2所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述固晶装置包括在所述工作平台上设置有固晶X向移动机构、两个固晶移动平台、固晶搬运机构和两个固晶摆臂装置,两个所述固晶移动平台分别设置在所述固晶X向移动机构上;位于一侧的所述固晶摆臂装置将晶圆固定在位于一侧的所述固晶移动平台上的第一支架的奇数或偶数位置上,所述固晶搬运机构将第一支架从位于一侧的所述固晶移动平台搬运到位于另一侧的所述固晶移动平台上,位于另一侧的所述固晶摆臂装置将晶圆固定在位于另一侧的所述固晶移动平台上的第一支架的偶数或奇数位置上。
7.根据权利要求6所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述固晶摆臂装置包括固晶摆臂转动电机、摆臂连接件、设置有固晶吸嘴的摆臂和摆臂上下驱动机构,所述摆臂连接件与所述摆臂连接,所述摆臂连接件的上端套设在所述固晶摆臂转动电机的驱动轴上,所述摆臂连接件的下端与所述摆臂上下驱动机构连接,所述固晶摆臂转动电机驱动所述摆臂连接件转动,所述摆臂上下驱动机构驱动所述摆臂连接件上下移动。
8.根据权利要求1或2所述的半导体封装一体机,其特征在于:所述自动合片装置包括设置在所述工作平台上的合片搬运平台、合片点胶机构、合片取料机构和供料翻转平台,所述合片取料机构将第二支架搬运到所述供料翻转平台的翻转结构上,所述合片点胶机构对所述翻转结构上的第二支架进行点胶,点胶完成后,所述翻转结构翻转第二支架,使第二支架位于所述合片搬运平台的上方并且与所述合片搬运平台上的第一支架对应,第二支架落入到第一支架上并合在一起。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造