[实用新型]一种单晶石英坩埚有效
| 申请号： | 201820422347.9 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN208219005U | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 庞卫 | 申请（专利权）人： | 连云港亿博材料开发有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶石英坩埚 抗氧化层 下端 本实用新型 单晶硅底板 二氧化硅层 上端 导热板 石墨烯 花键 指窝 石英坩埚 豁口 滑动 导液 拿取 上盖 加热 覆盖 | ||
1.一种单晶石英坩埚，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)由二氧化硅层(2)与抗氧化层(3)组成，且抗氧化层(3)覆盖在二氧化硅层(2)的外表面，所述主体(1)的内部下端位于抗氧化层(3)的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板(4)，所述主体(1)的一侧外表面设有指窝(5)，所述主体(1)的一侧靠近主体(1)的上端的位置固定安装有导液豁口(6)，所述主体(1)的下端外表面设有单晶硅底板(7)，所述主体(1)的下端位于单晶硅底板(7)的外表面的位置设有花键环(8)，所述主体(1)的上端设有上盖(9)，所述上盖(9)的下端外表面固定安装有盖沿(10)，所述主体(1)的上端外表面固定安装有提手(11)，所述提手(11)的一侧外表面设有通孔(12)，所述提手(11)的一侧贯穿通孔(12)的位置设有挂绳(13)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶石英坩埚，其特征在于：所述指窝(5)的形状为凹面椭圆形，所述导液豁口(6)的形状为三角锥形。
3.根据权利要求1所述的一种单晶石英坩埚，其特征在于：所述花键环(8)的形状为圆环状，所述花键环(8)的外表面设有磨砂纹，且花键环(8)与单晶硅底板(7)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种单晶石英坩埚，其特征在于：所述提手(11)的形状为圆球形，所述通孔(12)贯穿提手(11)，且提手(11)与上盖(9)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种单晶石英坩埚，其特征在于：所述抗氧化层(3)的材质为石墨纤维，所述单晶硅底板(7)的材质为单晶硅。
6.根据权利要求1所述的一种单晶石英坩埚，其特征在于：所述上盖(9)的形状为圆形，所述盖沿(10)的形状为圆环形，且盖沿(10)的直径小于上盖(9)的直径。
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