[实用新型]一种靶材锁紧装置

权利要求书

1.一种靶材锁紧装置，其特征在于，所述的靶材为截面呈梯形的柱状结构，靶材锁紧装置包括呈一端开口的靶座固定环，所述的靶座固定环内表面设有内螺纹，所述的靶座固定环螺纹连接有靶材压紧环，所述的靶材压紧环外侧与靶座固定环内表面螺纹连接，所述的靶材压紧环内侧压紧于靶材的外侧斜面，所述的靶材与靶座固定环之间还设有密封冷却装置。

2.根据权利要求1所述的靶材锁紧装置，其特征在于，所述靶材的横截面为等腰梯形，梯形的底角为75°～85°。

3.根据权利要求2所述的靶材锁紧装置，其特征在于，所述的梯形底角为83°。

4.根据权利要求1或2或3所述的靶材锁紧装置，其特征在于，所述的密封冷却装置包括设置于靶座固定环底部与靶材之间的密封板，所述的密封板与靶材底部之间设有导热垫。

5.根据权利要求4所述的靶材锁紧装置，其特征在于，所述的密封板两侧分别紧贴于靶座固定环和靶材底部，所述的密封板采用金属材料制成，所述的导热垫采用金属材料制成。

6.根据权利要求4所述的靶材锁紧装置，其特征在于，所述的密封板与靶座固定环之间设有密封圈。

7.根据权利要求4所述的靶材锁紧装置，其特征在于，所述的密封板材料为不锈钢，导热垫材料为锡、银、铟锡合金等。

8.根据权利要求1或2或3所述的靶材锁紧装置，其特征在于，所述的密封冷却装置包括设置于靶材固定座底部的密封环，所述的密封环一端与靶材底部贴合，另一端与靶座固定环底部贴合，所述的密封环两侧均设有密封圈。

9.根据权利要求8所述的靶材锁紧装置，其特征在于，所述的靶材压紧环采用陶瓷或者工程塑料制成。