[实用新型]一种靶材锁紧装置

说明书

本实用新型涉及一种靶材锁紧装置，属于表面处理技术领域，它解决了现有技术中靶材利用率低的问题。本靶材锁紧装置，靶材为截面呈梯形的柱状结构，靶材锁紧装置包括呈一端开口的靶座固定环，靶座固定环内表面设有内螺纹，靶座固定环螺纹连接有靶材压紧环，靶材压紧环外侧与靶座固定环内表面螺纹连接，靶材压紧环内侧压紧于靶材的外侧斜面，靶材与靶座固定环之间还设有密封冷却装置。本锁紧装置靶材的直接损失可降到5％以下，且固定锁紧方便可靠，通过螺纹和设定的小工具配合扭力扳手，可以方便的在靶以外的空间操作，并按照固定的力矩锁紧，排除误操作、真空压力变化、冷热变化引起的松弛漏气问题。

技术领域

本实用新型属于表面处理技术领域，涉及一种表面处理用的设备配件，特别是一种PVD表面处理技术中的靶材锁紧装置。

背景技术

PVD是一种应用非常广泛的表面处理和薄膜制备技术，大量应用在航空航天、医疗、食品、智能设备和机械制造领域，具体分为三种技术方式实现，蒸发、溅射和离子镀膜。

靶材是真空镀膜的主要耗材，材料要求高，使用环境严格。真空镀膜涉及到蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜。蒸发镀膜是将原材料放置到蒸发舟内，材料利用率高，而对于溅射镀膜和离子镀膜，由于工作离子需受电磁场的约束靶材必须固定设置，固定方式可以是螺纹固定、凸台固定、台阶固定等，这种方式会带来靶材利用率不高，甚至乎靶材利用率只有不到50％，导致严重的浪费。另外，在真空镀膜时靶材表面温度较高，为防止靶材溶化需要对靶材进行有效冷却，因此对靶材固定装置提出了更高的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种靶材利用率高的靶材锁紧装置。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种靶材锁紧装置，其特征在于，所述的靶材为截面呈梯形的柱状结构，靶材锁紧装置包括呈一端开口的靶座固定环，所述的靶座固定环内表面设有内螺纹，所述的靶座固定环螺纹连接有靶材压紧环，所述的靶材压紧环外侧与靶座固定环内表面螺纹连接，所述的靶材压紧环内侧压紧于靶材的外侧斜面，所述的靶材与靶座固定环之间还设有密封冷却装置。

在上述的靶材锁紧装置中，所述靶材的横截面为等腰梯形，梯形的底角为75°～85°。

在上述的靶材锁紧装置中，所述的梯形底角为83°。

在上述的靶材锁紧装置中，所述的密封冷却装置包括设置于靶座固定环底部与靶材之间的密封板，所述的密封板与靶材底部之间设有导热垫。

在上述的靶材锁紧装置中，所述的密封板两侧分别紧贴于靶座固定环和靶材底部，所述的密封板采用金属材料制成，所述的导热垫采用金属材料制成。

在上述的靶材锁紧装置中，所述的密封板与靶座固定环之间设有密封圈。

在上述的靶材锁紧装置中，所述的密封板材料为不锈钢，导热垫材料为锡、银、铟锡合金等。

在上述的靶材锁紧装置中，所述的密封冷却装置包括设置于靶材固定座底部的密封环，所述的密封环一端与靶材底部贴合，另一端与靶座固定环底部贴合，所述的密封环两侧均设有密封圈。

在上述的靶材锁紧装置中，所述的靶材压紧环采用陶瓷或者工程塑料制成。陶瓷如刚玉、氮化硼、碳化硅等，塑料如特氟龙、PET等。

与现有技术相比，本锁紧装置通过选用锥状结构的靶材，利用靶材锁紧装置压紧，仅仅利用靶材使用时不能被有效利用的侧边作为定位点，不会造成靶材的浪费，因此靶材使用率大幅提升，靶材的直接损失可降到5％以下。本发明的另一个优点是固定锁紧方便可靠，通过螺纹和设定的小工具配合扭力扳手，可以方便的在靶以外的空间操作，并按照固定的力矩锁紧，排除误操作、真空压力变化、冷热变化引起的松弛漏气问题。

附图说明

图1是本靶材锁紧装置中实施例1的结构示意图；