[实用新型]一种钢硅片在线自动寻槽找正装置

权利要求书

1.一种钢硅片在线自动寻槽找正装置，其特征在于，包括安装支座、举升机构、寻槽机构、锁止机构；

所述安装支座包括底板、竖直安装在所述底板上的立板、垂直安装在所述立板上的气缸安装板和平台安装板；

所述举升机构包括上顶升板和下顶升板、平行安装在所述上顶升板和下顶升板之间的两根导向杆、安装在所述下顶升板上的顶升气缸，所述两根导向杆上套有直线轴承，所述顶升气缸与所述直线轴承固定连接，所述底板固定在所述直线轴承上；

所述寻槽机构包括中空旋转平台、安装在所述中空旋转平台上的行星减速机和转轴、安装在所述行星减速机上的伺服电机、安装在所述转轴上的驱动气缸，所述伺服电机安装在所述平台安装板上，所述驱动气缸安装在所述气缸安装板上，所述转轴上套有限位套，所述转轴的底部固定有连接盘，顶部装有芯轴，所述芯轴上端与驱动气缸连接，所述连接盘的底部设置有第二定位销；

所述锁止机构包括锁止气缸、固定在所述锁止气缸上的锁止推杆，所述锁止气缸安装在所述立板上；

所述顶升气缸、所述驱动气缸、所述锁止气缸上均设置有气缸行程传感器。

2.根据权利要求1所述的钢硅片在线自动寻槽找正装置，其特征在于，所述底板与所述立板之间设置有加强筋板，所述立板与所述平台安装板之间、所述立板与所述气缸安装板之间均设置有加强筋。

3.根据权利要求1所述的钢硅片在线自动寻槽找正装置，其特征在于，所述上顶升板上设置有止动销、定位销以及定位支撑件。

4.根据权利要求1所述的钢硅片在线自动寻槽找正装置，其特征在于，所述芯轴的上端设置有下连接套，所述下连接套通过推力球轴承浮动连接有上连接套，所述上连接套与所述驱动气缸连接。