[实用新型]一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置

权利要求书

1.一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，包括:夹持本体和转轴；

所述夹持本体具有上端开口的圆柱状的容腔，用于支撑原料棒；所述夹持本体为氮化硅材料；

所述夹持本体上设置有螺纹孔；所述螺纹孔沿所述容腔的径向设置；所述螺纹孔为多个；多个所述螺纹孔沿所述容腔的圆周方向均匀分布；

所述转轴固定地设置在所述夹持本体的底部，与所述容腔同轴设置。

2.根据权利要求1所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，

所述夹持本体上设置有导向槽；

所述导向槽沿所述容腔的径向设置；

所述导向槽与所述螺纹孔连通。

3.根据权利要求2所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，还包括：卡锁构件；

所述卡锁构件与所述夹持本体通过所述螺纹孔螺纹连接，用于夹持所述容腔内的原料棒。

4.根据权利要求3所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，

所述卡锁构件为氮化硅材料。

5.根据权利要求4所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，

所述卡锁构件包括：夹持部和支撑部；

所述夹持部的前端的横向为圆弧状；

所述夹持部的后端为矩形结构；

所述夹持部能够被所述导向槽引导，沿所述导向槽滑动；

所述支撑部的一端顶置在所述夹持部的后端；

所述支撑部上设置有外螺纹，用于与所述螺纹孔螺纹连接；

所述支撑部旋转，能够推动所述夹持部向前滑动，用于压紧原料棒。

6.根据权利要求5所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，

所述夹持部的前端的纵向截面为锥形。

7.根据权利要求6所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，

所述导向槽包括：引导部和凹槽部；

所述凹槽部、所述引导部和所述螺纹孔相互连通；

所述凹槽部、所述引导部和所述螺纹孔沿所述容腔的径向由内向外依次设置。

8.根据权利要求7所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，

所述转轴为氮化硅材料。

9.根据权利要求8所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，

所述夹持本体与所述转轴一体化设置。

10.根据权利要求9所述的用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，其特征在于，

所述夹持本体的高度为4mm～8mm。