[实用新型]一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置

说明书

本实用新型涉及硅单晶生产技术领域，具体涉及一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置。主要技术方案为：一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，包括:夹持本体和转轴；所述夹持本体具有上端开口的圆柱状的容腔，用于支撑原料棒；所述夹持本体为氮化硅材料；所述夹持本体上设置有螺纹孔；所述螺纹孔沿所述容腔的径向设置；所述螺纹孔为多个；多个所述螺纹孔沿所述容腔的圆周方向均匀分布；所述转轴固定地设置在所述夹持本体的底部，与所述容腔同轴设置。采用本实用新型使支撑装置能够耐高温，提高其可靠性，进而提高拉制硅单晶过程的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及硅单晶生产技术领域，尤其涉及一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置。

背景技术

区熔法拉制硅单晶是利用热能在硅棒料的一端产生一熔区，再熔接单晶籽晶。调节温度使熔区缓慢地向棒的另一端移动，通过整根棒料，生长成一根单晶晶向与籽晶的相同硅单晶体。在区熔硅单晶生长过程中，硅棒料必须很好地固定，且在拉晶过程中需对长出的单晶起到支撑作用，因此必须要有一个可靠的支撑装置，以保证硅单晶生长过程的顺利进行。

传统的硅棒料依靠不锈钢基座支撑，基座为圆柱状套体，基座的壁上开有螺纹孔，通过螺钉固定；由于硅熔体的温度高，不锈钢基座和螺钉，在高温下易损坏，进而影响拉制硅单晶过程的可靠性。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，主要目的在于使支撑装置能够耐高温，提高其可靠性，进而提高拉制硅单晶过程的可靠性。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种用于区熔法拉制硅单晶的支撑装置，包括:夹持本体和转轴；

所述夹持本体具有上端开口的圆柱状的容腔，用于支撑原料棒；所述夹持本体为氮化硅材料；

所述夹持本体上设置有螺纹孔；所述螺纹孔沿所述容腔的径向设置；所述螺纹孔为多个；多个所述螺纹孔沿所述容腔的圆周方向均匀分布；

所述转轴固定地设置在所述夹持本体的底部，与所述容腔同轴设置。

进一步地，所述夹持本体上设置有导向槽；

所述导向槽沿所述容腔的径向设置；

所述导向槽与所述螺纹孔连通。

进一步地，还包括：卡锁构件；

所述卡锁构件与所述夹持本体通过所述螺纹孔螺纹连接，用于夹持所述容腔内的原料棒。

进一步地，所述卡锁构件为氮化硅材料。

进一步地，所述卡锁构件包括：夹持部和支撑部；

所述夹持部的前端的横向为圆弧状；

所述夹持部的后端为矩形结构；

所述夹持部能够被所述导向槽引导，沿所述导向槽滑动；

所述支撑部的一端顶置在所述夹持部的后端；

所述支撑部上设置有外螺纹，用于与所述螺纹孔螺纹连接；

所述支撑部旋转，能够推动所述夹持部向前滑动，用于压紧原料棒。

进一步地，所述夹持部的前端的纵向截面为锥形。

进一步地，所述导向槽包括：引导部和凹槽部；

所述凹槽部、所述引导部和所述螺纹孔相互连通；

所述凹槽部、所述引导部和所述螺纹孔沿所述容腔的径向由内向外依次设置。

进一步地，所述转轴为氮化硅材料。