[实用新型]一种硅片切割液回收装置

权利要求书

1.一种硅片切割液回收装置，其特征在于：该装置包括喷液机构和收液机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗的下方设置有切割液收集槽，切割液收集槽通过收集管与收集斗的连通，收集管内设置有切割液过滤筒；所述切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过喷洒管与切割液收集槽的下部连通。

2.根据权利要求1所述的硅片切割液回收装置，其特征在于：所述切割液喷头上安装有升降电机，支撑柱上竖向设置有与升降电机配合的升降槽。

3.根据权利要求1或2所述的硅片切割液回收装置，其特征在于：所述旋转升降机构包括旋转电机和升降气缸，升降气缸固定安装在硅片切割机上，旋转电机安装在升降气缸的输出端，支撑柱安装在旋转电机的输出端。

4.根据权利要求1所述的硅片切割液回收装置，其特征在于：所述切割液喷头设有4个，4个切割液喷头沿支撑柱的周向均匀设置。

5.根据权利要求1所述的硅片切割液回收装置，其特征在于：所述切割液过滤筒内设置有一个独立的过滤腔室，过滤腔室的底部设有与切割过滤筒连通的进液口，过滤腔室的侧部设有将切割液排出切割液过滤筒的出液口过滤腔室的中部横向设置有切割液过滤网。

6.根据权利要求5所述的硅片切割液回收装置，其特征在于：所述切割液过滤网设有3个，3层切割液过滤网上下层叠设置，3层切割液过滤网的网孔由下至上依次减小。

7.根据权利要求1所述的硅片切割液回收装置，其特征在于：所述喷洒管与切割液收集槽的连通处设有用于将切割液向切割液喷头输送的抽吸泵。