[实用新型]一种硅片切割液回收装置

说明书

一种硅片切割液回收装置，该装置包括喷液机构和收液机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗的下方设置有切割液收集槽，切割液收集槽通过收集管与收集斗的连通，收集管内设置有切割液过滤筒；所述切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过喷洒管与切割液收集槽的下部连通。该装置设计合理、简单实用，不仅能实现硅片切割液的均匀、全方位喷洒，而且能够将喷洒后的切割液进行有效去杂、冷却回收再利用。

技术领域

本实用新型涉及一种回收装置，特别是一种硅片切割液回收装置。

背景技术

目前，在硅片切割过程中，切割线与硅块之间高速摩擦，会产生大量的热量，需要进行喷洒切割液进行降温增效。切割液使用过后，会经过与硅块接触后会吸热升温，并且还会夹杂着一些切割硅片时产生的切削，不能直接进行收集再次使用。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种设计合理、使用方便、实现切割液的去杂、冷却、再利用的硅片切割液回收装置。

本实用新型所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本实用新型是一种硅片切割液回收装置，该装置包括喷液机构和收液机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗的下方设置有切割液收集槽，切割液收集槽通过收集管与收集斗的连通，收集管内设置有切割液过滤筒；所述切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过喷洒管与切割液收集槽的下部连通。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液回收装置，所述切割液喷头上安装有升降电机，支撑柱上竖向设置有与升降电机配合的升降槽。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液回收装置，所述旋转升降机构包括旋转电机和升降气缸，升降气缸固定安装在硅片切割机上，旋转电机安装在升降气缸的输出端，支撑柱安装在旋转电机的输出端。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液回收装置，所述切割液喷头设有4个，4个切割液喷头沿支撑柱的周向均匀设置。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液回收装置，所述切割液过滤筒内设置有一个独立的过滤腔室，过滤腔室的底部设有与切割过滤筒连通的进液口，过滤腔室的侧部设有将切割液排出切割液过滤筒的出液口过滤腔室的中部横向设置有切割液过滤网。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液回收装置，所述切割液过滤网设有3个，3层切割液过滤网上下层叠设置，3层切割液过滤网的网孔由下至上依次减小。

本实用新型所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的硅片切割液回收装置，所述喷洒管与切割液收集槽的连通处设有用于将切割液向切割液喷头输送的抽吸泵。

与现有技术相比，本实用新型通过旋转升降机构带动切割液喷头上下移动的同时旋转喷射切割液，使得切割液喷洒的更加均匀，便于充分配合切割线切割硅片，并将产生的热量进行吸收；向下流入收集斗的切割液先通过切割液过滤筒将夹杂的固体杂削分离，再进行切割液收集槽进行冷却降温，实现了切割液的去杂、降温，便于循环使用。该装置设计合理、简单实用，不仅能实现硅片切割液的均匀、全方位喷洒，而且能够将喷洒后的切割液进行有效去杂、冷却回收再利用。

附图说明