[实用新型]适用于电容用氮化硅和做屏蔽层保护用氮化硅的气路系统有效
| 申请号： | 201820475654.3 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN208154103U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 杨勇;余庆;赵江波;王艳兵;方勇进;张敏森;张国成 | 申请（专利权）人： | 华越微电子有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;F17D3/18 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 常闭气动阀 氮化硅 质量流量计 进气管 本实用新型 气路系统 屏蔽层 电容 完成系统 运行稳定 调压阀 隔膜阀 小投入 改造 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于电容用氮化硅和做屏蔽层保护用氮化硅的气路系统，包括第十常闭气动阀(21)、第十一常闭气动阀(22)、第七常闭气动阀(19)、第八常闭气动阀(20)、第九常闭气动阀(40)；其特征在于：还包括第四进气管(41)；所述的第四进气管(41)上依次安装有第四隔膜阀(42)、第四调压阀(43)、第十七常闭气动阀(44)；所述的第十七常闭气动阀(44)与第五质量流量计(45)通过管路相连；所述的第十常闭气动阀(21)、第十一常闭气动阀(22)之间的管路与第十八常闭气动阀(46)通过管路相连；所述的第十八常闭气动阀(46)通过管路与所述的第十七常闭气动阀(44)、第五质量流量计(45)之间的管路相连；所述的第五质量流量计(45)通过管路与第十九常闭气动阀(47)相连；所述的第十九常闭气动阀(47)通过管路与第九常闭气动阀(40)通过管路相连，且所述的第十九常闭气动阀(47)、第九常闭气动阀(40)之间的管路与所述的第七常闭气动阀(19)、第八常闭气动阀(20)之间的管路连通。
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