[实用新型]集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统

权利要求书

1.一种集成式阀座，其特征在于，所述集成式阀座上设有用于安装电磁阀阀体和阀芯的同轴式第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座和第五阀座，每个同轴式的单个阀座包括内气孔和外气孔，所述内气孔和外气孔同轴心设置，所述外气孔位于内气孔之外，内气孔和外气孔之间通过电磁阀阀芯分隔，集成式阀座上还设置有公共进气孔、排气孔和通气孔，所述公共进气孔分别连通第一阀座、第二阀座、第三阀座的外气孔、第五阀座的内气孔；所述排气孔分别连通第一阀座的内气孔、第四阀座的内气孔接口；所述通气孔与第五阀座的外气孔连通。

2.根据权利要求1所述的一种集成式阀座，其特征在于，单个阀座四周设有用于连接电磁阀阀体的螺纹孔。

3.根据权利要求1所述的一种集成式阀座，其特征在于，所述集成式阀座为铝合金制成。

4.根据权利要求1所述的一种集成式阀座，其特征在于，所述集成式阀座为框体结构，所述第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座位于框体的同一面上，第五阀座位于框体的另一面上。

5.一种具有如权利要求1所述的集成式阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统，其特征在于，所述真空气路系统包括分别对应安装在第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座和第五阀座内的第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀；还包括第六电磁阀、主真空泵、前级真空泵和氦质谱检漏仪，所述第六电磁阀的连接孔和公共进气孔连通，排气孔与前级真空泵的入口连通，第二阀座和第三阀座的接口分别连通主真空泵的中真空口和低真空口，第四阀座的接口与主真空泵的排气口连通。