[实用新型]集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统

说明书

本实用新型公开了一种集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统，所述外气孔位于内气孔之外，内气孔和外气孔之间通过电磁阀阀芯分隔，集成式阀座上还设置有公共进气孔、排气孔和通气孔，所述公共进气孔分别连通第一阀座、第二阀座、第三阀座的外气孔、第五阀座的内气孔；所述排气孔分别连通第一阀座的内气孔、第四阀座的内气孔接口；第二阀座和第三阀座内气孔分别连通主真空泵的中真空入口和低真空入口；所述通气孔与第五阀座的外气孔连通。本实用新型将真空管路模块化，极大的减少的系统占用的空间，省去了空间布管，省去了众多的管件和接头，提高了系统可靠性，大大降低了安装难度，优化了布线。

技术领域

本实用新型涉及一种氦质谱检漏仪用集成式阀座，尤其涉及的是一种集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统。

背景技术

氦质谱检漏仪是真空检漏应用中常用的分析仪器，在电力行业、航天行业、核工业等行业广泛运用。氦质谱检漏仪的真空系统为其关键部分，是该仪器赖以工作的基础。

图1是基于普发SplitFlow 80分子泵的一种氦质谱检漏仪的真空气路系统，根据气体流向共分四条气流通路，第一条气流通路为预抽真空气路，为从检漏口9经公共管道到电磁阀 13再到前级真空泵5；第二条气流通路为低真空气路，为从检漏口9经公共管道到低真空电磁阀6，到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5；第三条气流通路为中真空气路，为从检漏口9经公共管道到中真空电磁阀7，到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5；第四条气流通路为高真空气路，为从质谱室1到主真空泵2，到排气电磁阀4，再到前级真空泵5，真空计8用于测量入口处真空度，真空计3用于测量出口处真空度，图中10是给检漏仪定标用的标准漏孔。

由图1可知，氦质谱检漏仪的真空气路系统由多个零部件组成，各零部件之间联通需要通过各样的管接头和管件来连接，接头接缝众多，安装复杂，漏点多，可靠性低，且占用较大的安装空间，布管和布线均要耗时耗力，生产效率不高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：整个检漏设备安装管路过于复杂，提供了一种集成式阀座、具有该阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本实用新型一种集成式阀座，所述集成式阀座上设有用于安装电磁阀阀体和阀芯的同轴式第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座和第五阀座，每个同轴式的单个阀座包括内气孔和外气孔，所述内气孔和外气孔同轴心设置，所述外气孔位于内气孔之外，内气孔和外气孔之间通过电磁阀阀芯分隔，集成式阀座上还设置有公共进气孔、排气孔和通气孔，所述公共进气孔分别连通第一阀座、第二阀座、第三阀座的外气孔、第五阀座的内气孔；所述排气孔分别连通第一阀座的内气孔、第四阀座的内气孔接口；所述通气孔与第五阀座的外气孔连通。

作为本实用新型的优选方式之一，单个阀座四周设有用于连接电磁阀阀体的螺纹孔。

作为本实用新型的优选方式之一，所述集成式阀座为铝合金制成。

作为本实用新型的优选方式之一，所述集成式阀座为框体结构，所述第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座位于框体的同一面上，第五阀座位于框体的另一面上。

一种具有所述的集成式阀座的氦质谱检漏仪真空气路系统，所述真空气路系统包括分别对应安装在第一阀座、第二阀座、第三阀座、第四阀座和第五阀座内的第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀、第五电磁阀；还包括第六电磁阀、主真空泵、前级真空泵和氦质谱检漏仪，所述第六电磁阀的连接孔和公共进气孔连通，排气孔与前级真空泵的入口连通，第二阀座和第三阀座的接口分别连通主真空泵的中真空口和低真空口，第四阀座的接口与主真空泵的排气口连通。