[实用新型]一种单晶炉用废气孔罩

权利要求书

1.一种单晶炉用废气孔罩，其安装在废气孔(3)上，所述废气孔(3)设置在单晶炉底盘上；其特征在于，包括：罩盘本体(1)及支撑爪(2)；所述罩盘本体(1)呈圆形与所述废气孔(3)适配；所述支撑爪(2)为多个设置在所述罩盘本体(1)下部并围设在所述废气孔(3)周围支撑所述罩盘本体(1)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用废气孔罩，其特征在于，所述罩盘本体(1)为石墨压制而成。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用废气孔罩，其特征在于，每一个所述支撑爪(2)均包括固定块(21)和支撑块(22)，所述固定块(21)与所述支撑块(22)一体连接，且所述支撑块(22)连接所述罩盘本体(1)底部，且其厚度h大于所述固定块(21)厚度f。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用废气孔罩，其特征在于，所述固定块(21)与所述支撑块(22)外侧面处于同一条直线上；所述支撑块(22)内侧面相对所述固定块(21)内侧面具有一定斜度或倒角。

5.根据权利要求3或4所述的一种单晶炉用废气孔罩，其特征在于，所述支撑爪(2)的高度为50±1mm，其中，所述支撑块(22)的高度为36±1mm。

6.根据权利要求1-4任一项所述的一种单晶炉用废气孔罩，其特征在于，所述罩盘本体(1)顶部具有5X30°-6X45°倒角。