[实用新型]一种单晶炉用废气孔罩

说明书

本实用新型涉及一种单晶炉用废气孔罩，用于安装在废气孔上；废气孔设置在单晶炉底盘上；废气孔罩包括：罩盘本体及支撑爪；罩盘本体呈圆形与废气孔适配；支撑爪为多个设置在罩盘本体下部并围设在废气孔周围支撑罩盘本体。首先由于在废气孔上设置了废气孔罩，拉晶过程中，由于投料量增大挥发物也会随着增多，其通过排气孔罩，改变了挥发物原有的运行路径，既起到了分离过滤挥发物作用，防止阻塞排气孔导致整炉液体硅拉不成单晶，造成焖炉；其次当发生石英埚破裂导致硅液溢流后，由于废气孔罩设于热场与排气孔之间增加了缓冲，发生硅液溢流时有效降低了其通过排气口流向单晶炉外的管道，造成不锈钢管道被高温硅溶液烫坏迅速破裂的风险。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅设备技术领域，更具体的说是涉及一种单晶炉用废气孔罩。

背景技术

单晶炉在拉直单晶的过程中，多晶硅料需要熔化，温度至少1420℃，由于受到石墨件、石英埚等物资的质量问题或者人为操作不当，存在着渗硅、漏硅事故的发生；当事故发生时，高温会从上往下流入到废气孔，通过废气孔流入不锈钢管道，从而烫坏管道，甚至威胁到人身安全，发生更大的安全事故。

因此，如何在发生上述事故时防止废气烫坏管道，保证人员安全是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉用废气孔罩，至少解决了上述技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种单晶炉用废气孔罩，其安装在废气孔上；废气孔设置在单晶炉底盘上；包括：罩盘本体及支撑爪；罩盘本体呈圆形与废气孔适配；支撑爪为多个设置在罩盘本体下部并围设在废气孔周围支撑罩盘本体。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种单晶炉用废气孔罩，首先由于在废气孔上设置了废气孔罩，拉晶过程中，由于投料量增大后，多晶料与石英埚反应就会增强，挥发物也会随着增多，增多的挥发物通过排气孔时，通过排气孔罩，改变了挥发物原有的运行路径，既起到了分离、过滤挥发物作用，防止阻塞排气孔，导致整炉液体硅拉不成单晶，造成焖炉；其次，当发生石英埚破裂导致硅液溢流后，由于废气孔罩设于热场内部与排气孔之间，增加了缓冲，一旦发生硅液溢流，有效防止了硅液直接通过排气口流向单晶炉两侧的不锈钢管道，造成不锈钢管道被高温硅溶液烫坏迅速破裂，甚会危及操作者安全的问题。

优选地，罩盘本体为石墨压制而成。防止由于其他材料高温反映生成其他物质，影响单晶质量，石墨材质在高温下，使用寿命长。

优选地，每一个支撑爪均包括固定块和支撑块，固定块与支撑块一体连接，且支撑块连接罩盘本体底部，且其厚度h大于固定块厚度f。其中支撑块厚度h为5-6mm，固定块厚度f为2-3mm。

优选地，固定块与支撑块外侧面处于同一条直线上；支撑块内侧面相对固定块内侧面具有一定斜度或倒角。

采用此方案的效果为：高温气体与挥发物通过废气孔罩的缓冲后，由于斜度与倒角的存在，更有利于气体的排除，保证了排气的通畅。

优选地，支撑爪的高度为50±1mm，其中，支撑块的高度为36±1mm。采用此方案的效果为：由于支撑块具有一定的高度，在保证单晶炉内正常操作的同时，保证了具有一定的缓冲空间。

优选地，罩盘本体顶部具有5X30°-6X45°倒角。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1附图为本实用新型提供的一种单晶炉用废气孔罩安装在废气孔上的的结构示意图；