[实用新型]振动膜结构及振动检测传感器有效
申请号: | 201820487259.7 | 申请日: | 2018-04-08 |
公开(公告)号: | CN208254638U | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 郑虎鸣;贺志坚;于承峰;温增丰 | 申请(专利权)人: | 东莞泉声电子有限公司 |
主分类号: | G01H11/08 | 分类号: | G01H11/08 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 徐勋夫 |
地址: | 523000*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动膜结构 导电薄膜 悬设 膜支撑 振动检测传感器 本实用新型 内部空腔 质量块 发动机 检测发动机 振动灵敏度 电容变化 拾取信号 实时检测 信号变化 运行性能 振动声波 振动信息 平稳性 采集 改良 反馈 | ||
1.一种振动膜结构,其特征在于:包括有膜支撑件、导电薄膜和质量块;其中,膜支撑件形成有内部空腔,导电薄膜具有连接部和悬设部,连接部与悬设部相连接;导电薄膜通过连接部连接于膜支撑件上,导电薄膜的悬设部则对应内部空腔设置;质量块连接于悬设部。
2.根据权利要求1所述的振动膜结构,其特征在于:所述膜支撑件为环状,连接部形成于导电薄膜的周边部位,质量块与膜支撑件的内环面之间保留有环形间隙。
3.根据权利要求2所述的振动膜结构,其特征在于:所述导电薄膜具有绝缘膜层和镀设于绝缘膜层上的导电金属层。
4.根据权利要求2所述的振动膜结构,其特征在于:所述导电薄膜覆设于膜支撑件的顶端面,质量块连接于导电薄膜的底端面,质量块位于膜支撑件的内部空腔中。
5.根据权利要求4所述的振动膜结构,其特征在于:所述悬设部封住整个内部空腔的上端开口。
6.根据权利要求4所述的振动膜结构,其特征在于:所述悬设部呈环状,质量块封住悬设部的内部开口。
7.根据权利要求5所述的振动膜结构,其特征在于:所述膜支撑件为圆环形结构,所述导电薄膜为圆形结构,所述质量块为圆形结构或方形结构,所述质量块居中布置于悬设部,环形间隙为圆环形间隙。
8.根据权利要求6所述的振动膜结构,其特征在于:所述膜支撑件为圆环形结构,所述导电薄膜为圆环形结构,所述质量块为圆形结构,所述质量块居中布置于悬设部,环形间隙为圆环形间隙。
9.一种振动检测传感器,其特征在于:包括有外壳,该外壳内部具有容置腔,该容置腔内装设有振动膜结构、绝缘垫圈、背极板、背极座、连接环、线路板;所述振动膜结构为权利要求1至8中任何一项所述的振动膜结构;所述悬设部、质量块均与背极板、容置腔的内底面保持间距。
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