[实用新型]一种PEVCD卧式石墨舟结构

权利要求书

1.一种PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于：包括多个固定杆（1）、多个石墨舟片（2），所述的固定杆（1）竖直间隔设置在石英炉管（3）内，呈阵列排列；所述的石墨舟片（2）水平设置且层叠间隔固定在所述的固定杆（1）上，所述的固定杆（1）、石墨舟片（2）整体设置在石英炉管（3）的内部。

2.根据权利要求1所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于：所述石墨舟片（2）上设置有多个第一通孔，所述的固定杆（1）穿过第一通孔，每两层石墨舟片之间还设置有分隔件（4），该分隔件上设置有第二通孔，所述的固定杆（1）穿过所述的分隔件上的第二通孔。

3.根据权利要求2所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于：所述的分隔件（4）为圆柱状或是方块状。

4.根据权利要求1所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于：石英炉管轴心两侧的固定杆的底部还固定设置有多个底座（5），该底座与石英炉管（3）的内壁贴合。

5.根据权利要求4所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于：所述的底座（5）为类L型结构，包括水平壁（51）和弧形壁（52），该水平壁固定设置在最下面的两个石墨舟片之间，该弧形壁的弧形外径与石英炉管（3）的内径配合。

6.根据权利要求5所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于：所述的水平壁（51）上设置有第三通孔，固定杆（1）穿过第三通孔。

7.根据权利要求1-6任一项所述的PEVCD卧式石墨舟结构，其特征在于：所述的固定杆两端设置有螺纹，石墨舟片通过固定杆上的螺纹和螺母固定。

8.一种包含了上述任意一项权利要求所述的PEVCD卧式石墨舟结构的卧式硅片镀减反膜机。