[实用新型]一种磁控溅射靶材用水路背板有效
| 申请号： | 201820495608.X | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN208378982U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈佳;陈宝忠 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所 35001 | 代理人： | 徐开翟 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环形水路 入水口 出水口 上背板 下背板 磁控溅射靶材 槽前端 单螺旋 环形槽 总水路 双线 连通 本实用新型 环形回路 镜像设置 水压稳定 总出水口 槽结合 上端面 下端面 最大化 背板 冷却 | ||
1.一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，其特征在于：所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口，所述总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头和入水阀快接头。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶材用水路背板，其特征在于：所述上背板和下背板均由金属钼材料构成，所述上背板下端面和下背板上端面的表面粗糙度不高于Ra1.6。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶材用水路背板，其特征在于：所述上背板下端面与下背板上端面的四周边线处和第一环形水路槽与第二环形水路槽的槽边处均设置有斜角，所述斜角具体为C3倒角。
4.根据权利要求2所述的一种磁控溅射靶材用水路背板，其特征在于：所述上背板下端面四个角落位置分别设置有第一定位销槽，所述下背板上端四个角落处对应第一定位销槽位置分别设置有第二定位销槽，所述第一定位销槽和第二定位销槽尺寸相同。
5.根据权利要求2所述的一种磁控溅射靶材用水路背板，其特征在于：所述上背板和下背板之间设置有密封垫，所述密封片具体为导热硅胶片。
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