[实用新型]一种磁控溅射靶材用水路背板

说明书

本实用新型公开了一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口；本实用新型的总水路槽为双线单螺旋环形槽形成环形回路，这样可以确保与上背板和下背板的最大化接触面积，又保持水压稳定，确保冷却良好。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射靶材背板技术领域，具体是一种磁控溅射靶材用水路背板。

背景技术

随着全球电子信息产业快速发展，平板显示行业的迅猛发展，平面显示面板尺寸要求不断扩大，这就要求溅射靶材尺寸也随之扩大，目前最大尺寸已达到3米X 2米，这类靶材需要固定在背板上，通常是用流动性好且具有一定粘性的低合金金属做为焊料，由于磁控溅射过程中，激发源粒子在加速电场牵引下不断轰击靶材表面，动能转换成热能，靶材因此会积累大量热量，这些热量无法及时传递，进而引起靶材变形，甚至靶材会因过热而造成脱靶现象，影响镀膜生产，为此靶材整体温度必须严格控制在一定范围内，传统一般是在镀膜机上设计一个冷却水槽，让背板紧密贴住水槽，再通以循环冷却水冷却靶材，然而此类做法由于冷却水只和背板表面接触，对于背板厚度较厚的冷却效果一般，更无法满足大功率溅射用靶材，进一步加强靶材冷却效果是提高镀膜效率和质量的亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射靶材用水路背板，实现大功率溅射靶材在磁控溅射镀膜时具有优良的散热效果。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口，所述总入水口和总出水口内分别设置有出水阀快接头和入水阀快接头。

优选的，所述上背板和下背板均由金属钼材料构成，所述上背板下端面和下背板上端面的表面粗糙度不高于Ra1.6。

优选的，所述上背板下端面与下背板上端面的四周边线处和第一环形水路槽与第二环形水路槽的槽边处均设置有斜角，所述斜角具体为C3倒角。

优选的，所述上背板下端面四个角落位置分别设置有第一定位销槽，所述下背板上端四个角落处对应第一定位销槽位置分别设置有第二定位销槽，所述第一定位销槽和第二定位销槽尺寸相同。

优选的，所述上背板和下背板之间设置有密封垫，所述密封片具体为导热硅胶片。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）、本实用新型的上背板和下背板均采用金属钼材质，硬度高、热膨胀系数小，有效减少应热膨胀带来的背板变形导致的溅射镀膜质量下降；

（2）、本实用新型采用上背板下端面和下背板上端面的第一环形水路槽和第二环形水路槽的槽边和四周边缘均加工有倒角，可以最小化尺寸精加工上背板下端面和下背板上端面，最大化填充焊料，节省加工成本；

（3）、本实用新型的总水路槽为双线单螺旋环形槽形成环形回路，这样可以确保与上背板和下背板的最大化接触面积，又保持水压稳定，确保冷却良好。

附图说明

图1为本实用新型的上背板立体结构示意图；