[实用新型]一种芯片清洗设备有效

专利信息
申请号: 201820506855.5 申请日: 2018-04-11
公开(公告)号: CN208093520U 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 赵灵甫 申请(专利权)人: 南京恒聚通电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B1/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 211800 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 固定架 丝杆 支撑板 升降电机 芯片清洗 滑块 垂直固定 清洗装置 储液罐 连接杆 加液 本实用新型 供应清洗液 底座顶部 轴承转动 转动电机 转动连接 清洗棉 输出轴 转盘 转轴 底座 轴承 芯片 穿过
【说明书】:

实用新型公开了一种芯片清洗设备,包括底座和清洗装置,所述清洗装置包括固定架、丝杆、升降电机、滑块、支撑板、连接杆、清洗棉、转盘、转轴、转动电机和芯片,所述固定架垂直固定在底座顶部的一端,所述固定架的一侧设有凹槽,所述丝杆的一端通过轴承与凹槽的底部转动连接,所述丝杆的另一端穿过固定架与升降电机的输出轴固定连接,且丝杆与固定架的连接处通过轴承转动连接,所述升降电机固定在固定架的顶部,所述滑块安装在丝杆上,所述滑块的一侧垂直固定有支撑板,所述支撑板的底部固定有连接杆,此芯片清洗设备,在支撑板的顶部固定有储液罐,通过储液罐可以及时供应清洗液,从而可以自动进行加液,不需要人工进行加液。

技术领域

本实用新型涉及芯片清洗技术领域,具体为一种芯片清洗设备。

背景技术

集成电路、或称微电路、 微芯片、芯片在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并通常制造在半导体晶圆表面上。前述将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜集成电路。

现有的芯片在进行清洗时都是人工进行清洗,从而导致清洗效率较差,降低芯片的生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片清洗设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片清洗设备,包括底座和清洗装置,所述清洗装置包括固定架、丝杆、升降电机、滑块、支撑板、连接杆、清洗棉、转盘、转轴、转动电机和芯片,所述固定架垂直固定在底座顶部的一端,所述固定架的一侧设有凹槽,所述丝杆的一端通过轴承与凹槽的底部转动连接,所述丝杆的另一端穿过固定架与升降电机的输出轴固定连接,且丝杆与固定架的连接处通过轴承转动连接,所述升降电机固定在固定架的顶部,所述滑块安装在丝杆上,所述滑块的一侧垂直固定有支撑板,所述支撑板的底部固定有连接杆,所述连接杆的底部固定有清洗棉,所述底座位于清洗棉的正下端设有转盘,所述转盘的底部固定有转轴,所述转轴穿过底座与转动连接的输出轴固定连接,且转轴与底座的连接处通过轴承转动连接,所述转动电机固定在底座的底部,所述转盘的上表面设有与芯片相配合的凹槽,且芯片嵌入在凹槽内。

优选的,所述支撑板的顶部固定有储液罐,所述储液罐的底部对称固定有连接管,所述连接管穿过支撑板与滴头连接,所述滴头位于清洗棉的正上端。

优选的,所述连接管的外侧套有固定环,所述固定环的一侧通过轴承转动连接螺纹杆,所述连接杆的外侧设有与螺纹杆相配合的螺纹孔,所述螺纹杆通过螺纹与连接杆固定连接。

优选的,所述底座的底部对称固定有支撑垫。

优选的,所述清洗棉位于芯片的正上端,且清洗棉的直径大于芯片的对角线长度。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型把芯片固定在转盘上,然后通过升降电机的转动带动丝杆转动,从而时滑块带动支撑板上下移动,调节清洗棉的位置,然后通过转动电机的转动可以带动转轴转动,从而使转盘转动,进而对转盘上的芯片进行清洗。

2、本实用新型在支撑板的顶部固定有储液罐,通过储液罐可以及时供应清洗液,从而可以自动进行加液,不需要人工进行加液。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图;

图2为本实用新型固定架结构示意图。

图中:1-底座;2-清洗装置;3-固定架;4-丝杆;5-升降电机;6-滑块;7-支撑板;8-连接杆;9-清洗棉;10-转盘;11-转轴;12-转动电机;13-芯片;14-储液罐;15-连接管;16-滴头;17-固定环;18-连接杆;19-支撑垫。

具体实施方式

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