[实用新型]显微扫描装置

权利要求书

1.一种显微扫描装置，包含：

一撷像机构，包含：

一分光元件，具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路；

一感光元件，设置于该第一光路上，用以撷取一物件的一影像，其中该物件设置于该第二光路上；

一成像镜，设置于该第一光路上，用以汇聚来自该物件的一影像光，其中该成像镜设置于该感光元件与该分光元件之间；

一显微物镜，设置于该第二光路上，用以汇聚来自该物件的该影像光，其中该显微物镜设置于该分光元件与该物件之间；以及

一光源，设置于该第三光路上，用以提供一照明光至该分光元件；其中，该照明光沿该第三光路以及该第二光路到达该物件，且该影像光沿该第二光路以及该第一光路到达该感光元件；以及

一物件驱动机构，用以驱动该物件移动或转动，以供该感光元件扫描该物件。

2.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该物件驱动机构驱动该物件的一边缘位于该第二光路上，以扫描该边缘。

3.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该物件驱动机构包含一移动单元，其中该物件设置于该移动单元上。

4.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该物件驱动机构包含一转动单元，其中该物件设置于该转动单元上。

5.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该物件驱动机构包含一步进马达。

6.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该物件驱动机构包含一平台，其中该物件设置于该平台上。

7.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该感光元件包含一电荷耦合元件或一互补式金属氧化物半导体。

8.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该成像镜包含一凸透镜。

9.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该显微物镜包含一凸透镜。

10.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该撷像机构还包含：

一影像处理单元，与该感光元件电性连接，用以接收并分析该物件的该影像，以产生一品质参数。

11.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，还包含：

一聚焦驱动机构，用以驱动该撷像机构沿该第二光路的方向移动，其中该物件位于该显微物镜的焦点上。