[实用新型]显微扫描装置

说明书

一种显微扫描装置，包含一撷像机构以及一物件驱动机构。撷像机构包含一分光元件、一感光元件、一成像镜、一显微物镜以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。光源设置于第三光路上，且光源提供一照明光经由分光元件至物件。其中，照明光沿第三光路以及第二光路到达物件，且影像光沿第二光路以及第一光路到感光元件。物件驱动机构驱动物件移动或转动，以供撷像机构在同轴照明下扫描物件。

技术领域

本实用新型是有关一种显微扫描装置，特别是一种自动化显微扫描装置。

背景技术

一般而言，物件边缘的细微变化需透过人工操作显微镜并以人眼观察，进行检测及分析。

然而，藉由人工操作显微镜检测的传统检测方式，容易具有检测速度较慢以及由于人眼疲劳所产生的误判等等缺点。

综上所述，提供自动化显微扫描装置便是目前极需努力的目标。

实用新型内容

本实用新型提供一种显微扫描装置，其是利用撷像机构以及物件驱动机构，在同轴照明下驱动物件移动或转动，以扫描物件的影像。藉此，显微扫描装置可自动扫描检测物件边缘的轮廓影像及其细微变化，此外，更可透过影像处理单元以及软件分析，自动判定物件边缘的品质，从而大幅缩短检测时间与人力成本。

本实用新型一实施例的显微扫描装置，包含一撷像机构以及一物件驱动机构。撷像机构包含一分光元件、一感光元件、一成像镜、一显微物镜以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。感光元件设置于第一光路上，且感光元件撷取一物件的一影像，其中物件设置于第二光路上。成像镜设置于第一光路上，且成像镜汇聚来自物件的一影像光，其中成像镜设置于感光元件与分光元件之间。显微物镜设置于第二光路上，且显微物镜汇聚来自物件的影像光，其中显微物镜设置于分光元件与物件之间。光源设置于第三光路上，且光源提供一照明光至分光元件。其中，照明光沿第三光路以及第二光路到达物件，且影像光沿第二光路以及第一光路到达感光元件。物件驱动机构驱动物件移动或转动，以供感光元件扫描物件。

以下藉由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本实用新型的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

附图说明

图1为一示意图，显示本实用新型一实施例的显微扫描装置。

图2为一示意图，显示本实用新型另一实施例的显微扫描装置。

图3为一示意图，显示本实用新型一实施例的显微扫描装置。

图4为一示意图，显示本实用新型另一实施例的显微扫描装置。

图5为一示意图，显示本实用新型一实施例的显微扫描装置。

图6为一示意图，显示本实用新型另一实施例的显微扫描装置。

附图标记说明

1 撷像机构

10 分光元件

2 物件驱动机构、移动单元、转动单元

20 感光元件

22 平台

3 聚焦驱动机构

30 成像镜

40 显微物镜

50 光源

60 影像处理单元

A 物件