[实用新型]适用于薄基板封装量产的载具有效
申请号: | 201820558182.8 | 申请日: | 2018-04-19 |
公开(公告)号: | CN208142147U | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 任子龙;陈学峰;杨小平 | 申请(专利权)人: | 苏州固锝电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡;王健 |
地址: | 215153 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 载板 薄基板 盖板框 量产 封装 本实用新型 工作垫 右轨道 左轨道 基板 相背 载具 基板加热 吸附基板 加热块 平整度 中央处 镂空区 板框 垫块 良率 翘曲 嵌入 轨道 | ||
本实用新型一种适用于薄基板封装量产的载具,包括盖板框、PCB基板、载板框、左轨道和右轨道,所述载板框两侧端分别嵌入左轨道和右轨道各自的凹槽内,所述盖板框、载板框各自的中央处均为镂空区,所述PCB基板位于盖板框、载板框之间,一工作垫块位于载板框与PCB基板相背的一侧,所述工作垫块与载板框相背的表面与一加热块接触。本实用新型适用于薄基板封装量产的载具有效的避免基板在轨道中运动不顺畅导致的卡料,避免因基板加热翘曲使垫块上的真空无法很好的吸附基板,基板温度和平整度一致性强,提高了产品的良率。
技术领域
本实用新型涉及一种半导体封装装置,尤其涉及一种适用于薄基板封装量产的载具。
背景技术
现在电子产品越做越小,越做越薄,对于的电子元器件的封装厚度也要求越来越薄,产品变薄主要可以通过降低线弧高度、降低芯片厚度和降低基板厚度以及更换封装方式等方面。
基板的厚度变化有很大的空间,我们通常使用的基板厚度都要大于0.15mm,这类的基板一般可以直接在die bond和wire bond设备轨道中运行,但是如果过程中有基板翘曲也有卡料等风险。
基板变薄后会翘曲,特别是加热后的基板翘曲后更严重,翘曲的基板在设备轨道中行走时容易导致卡料,真空吸附不完全等问题点。因此,如何克服上述技术问题成为本领域技术人员努力的方向。
发明内容
本实用新型目的是提供一种适用于薄基板封装量产的载具,该适用于薄基板封装量产的载具有效的避免基板在轨道中运动不顺畅导致的卡料,避免因基板加热翘曲使垫块上的真空无法很好的吸附基板,基板温度和平整度一致性强,提高了产品的良率。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种适用于薄基板封装量产的载具,包括盖板框、PCB基板、载板框、左轨道和右轨道,所述载板框两侧端分别嵌入左轨道和右轨道各自的凹槽内,所述盖板框、载板框各自的中央处均为镂空区,所述PCB基板位于盖板框、载板框之间,一工作垫块位于载板框与PCB基板相背的一侧,所述工作垫块与载板框相背的表面与一加热块接触。
上述技术方案中进一步改进的方案如下:
1. 上述方案中,所述载板框下表面的边缘处具有一凸起部。
2. 上述方案中,所述工作垫块嵌入载板框的凸起部内。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点和效果:
本实用新型适用于薄基板封装量产的载具,其可以有效的避免基板在轨道中运动不顺畅导致的卡料,避免因基板加热翘曲使垫块上的真空无法很好的吸附基板,基板温度和平整度一致性强,提高了产品的良率,提高了产品的可作业性和作业员的可操作性,提高作业员的工作效率。
附图说明
附图1为本实用新型适用于薄基板封装量产的载具结构示意图;
附图2为本实用新型适用于薄基板封装量产的载具立体结构示意图;
附图3为本实用新型载具局部俯视结构示意图。
以上附图中:1、盖板;2、PCB基板;3、载板;31、凸起部;4、左轨道;5、右轨道;6、凹槽;7、镂空区;8、工作垫块;9、加热块。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
实施例1:一种适用于薄基板封装量产的载具,包括盖板框1、PCB基板2、载板框3、左轨道4和右轨道5,所述载板框3两侧端分别嵌入左轨道4和右轨道5各自的凹槽6内,所述盖板框1、载板框3各自的中央处均为镂空区7,所述PCB基板2位于盖板框1、载板框3之间,一工作垫块8位于载板框3与PCB基板2相背的一侧,所述工作垫块8与载板框3相背的表面与一加热块9接触。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造