[实用新型]具有显示监测功能的气体温度调节装置

权利要求书

1.一种具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，包含有：

一机壳，其外侧设有至少一输入口及至少一输出口，且所述机壳内具有一容置空间；

一散热模块，其设于所述容置空间；

一致冷模块，其具有一发热部及一致冷部，所述致冷模块具有多个致冷芯片，而所述发热部组接有所述散热模块；

一降温结构，其组设所述致冷部，且所述降温结构具有至少一流道，所述流道供一载体气体流通，而所述流道分别连通所述输入口及所述输出口；

一运算处理模块，其电性连接所述散热模块及所述致冷模块，所述运算处理模块存有至少一监测范围值；

一侦测模块，其设于所述机壳内并电性连接所述运算处理模块及所述致冷模块，且所述侦测模块用以对所述流道内的流量及温度进行感测，并产生至少一感测信息，并传输至所述运算处理模块；及

一显示设置模块，其组设于所述机壳的外侧，并电性连接所述运算处理模块及所述侦测模块；

其中，所述运算处理模块用以控制所述致冷模块的作动，以及用以将所述感测信息与所述监测范围值进行比对运算处理，并产生至少一运作监测信息或至少一异常监测信息，而所述显示设置模块显示所述运作监测信息或所述异常监测信息。

2.根据权利要求1所述的具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，所述显示设置模块具有至少一显示屏幕及多个设定键。

3.根据权利要求1所述的具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，所述流道供一载体气体流通，而所述运算处理模块控制所述致冷模块的作动，以供驱使所述致冷模块对所述降温结构的流道内的载体气体进行降温，所述致冷模块将运作的热能经由所述散热模块进行散热。

4.根据权利要求1所述的具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，所述散热模块具有多个散热鳍片及至少一风扇单元，且所述多个散热鳍片呈间隔设置，并组设于所述发热部，所述风扇单元组设于所述机壳。

5.根据权利要求1所述的具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，所述机壳外侧还穿设有二通孔，所述散热模块包含有一水冷头、多个输液管及一泵浦，所述水冷头具有一流动腔室，且所述水冷头组设于所述发热部，所述水冷头外侧设有至少二连接端，所述至少二连接端与所述流动腔室相连通，而所述多个输液管穿过所述二通孔并连接所述至少二连接端，所述泵浦连接于其中一输液管，而所述水冷头、所述多个输液管及所述泵浦构成一液体散热路径。

6.根据权利要求5所述的具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，所述散热模块还包括一储液桶，所述储液桶与所述输液管连通，且所述储液桶存有一水液。

7.根据权利要求1所述的具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，所述降温结构为一降温块，所述降温块的一侧连接所述多个致冷芯片，而另一侧连接所述机壳，所述降温块内穿设有所述流道，所述流道的两端分别连接所述输入口及所述输出口。

8.根据权利要求7所述的具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，所述降温块由金属材质所构成。

9.根据权利要求1所述的具有显示监测功能的气体温度调节装置，其特征在于，所述气体温度调节装置装设于一半导体系统设备中，而所述载体气体为氮气。