[实用新型]硅片分选机

权利要求书

1.一种硅片分选机，其特征在于，所述硅片分选机包括输送线，所述硅片分选机还包括外形尺寸检测装置、隐裂检测装置、脏污检测装置、厚度检测装置、P/N型检测装置中的至少两种，其中：

所述外形尺寸检测装置，用于检测所述输送线上输送的硅片的外形尺寸是否合格；

所述隐裂检测装置，用于检测所述硅片上是否存在隐裂；

所述脏污检测装置，用于检测所述硅片的表面上是否存在脏污；

所述厚度检测装置，用于检测所述硅片的厚度是否合格；

所述P/N型检测装置，用于检测所述硅片是P型还是N型。

2.根据权利要求1所述的硅片分选机，其特征在于，所述外形尺寸检测装置包括第一相机、第一光源、第一光源罩和第一相机罩，其中：

所述第一光源设置在所述第一光源罩的内部底部，所述第一光源罩的两侧开设有能够使所述输送线从所述第一光源上方通过的开口；

所述第一相机罩位于所述第一光源罩的上方，所述第一相机设置于所述第一相机罩的内部；

所述第一相机用于对通过所述第一光源上方的硅片进行拍照，所述第一相机拍照得到的图像用于确定所述硅片的外形尺寸是否合格。

3.根据权利要求1所述的硅片分选机，其特征在于，所述脏污检测装置包括第二相机、第二光源、第二光源罩、第三相机、第三光源以及第三光源罩，其中：

所述第二光源设置在所述第二光源罩的内部底部，所述第二光源罩位于所述输送线的下方，所述第二相机位于所述第二光源罩、所述输送线的上方，所述第二相机用于对通过所述第二光源上方的硅片的上表面进行拍照，所述第二相机拍照得到的图像用于确定所述上表面是否存在脏污；

所述第三光源设置在所述第三光源罩的内部底部，所述第三光源罩位于所述输送线的上方，所述第三相机位于所述第三光源罩、所述输送线的下方，所述第三相机用于对通过所述第三光源下方的硅片的下表面进行拍照，所述第三相机拍照得到的图像用于确定所述下表面是否存在脏污。

4.根据权利要求1所述的硅片分选机，其特征在于，所述厚度检测装置包括第一上光源、第一下光源、第一侧光源、第四相机、第一棱镜和第二棱镜，其中：

所述第一上光源位于所述输送线的侧边上方，所述第一下光源位于所述侧边的下方，所述第四相机朝向所述侧边，所述第一侧光源位于所述第四相机的一侧；

所述第一棱镜位于所述第一上光源、所述输送线之间，所述第二棱镜位于所述第一下光源、所述输送线之间，

所述第一上光源、所述第一下光源以及所述第一侧光源均用于为第一硅片提供光照，所述第一硅片为所述输送线上所述第四相机朝向的硅片；所述第一硅片的上表面反射出来的光线通过所述第一棱镜反射至所述第四相机上，所述第一硅片的下表面反射出的光线通过所述第二棱镜反射至所述第四相机上。

5.根据权利要求1所述的硅片分选机，其特征在于，所述硅片分选机还包括上料装置，所述上料装置包括用于装载待分选的硅片的料篮和移动机构，其中：

所述移动机构带动位于所述输送线的输送起始端上方的料篮下降的过程中，所述料篮装载的硅片的下表面与所述输送线的输送起始端接触，所述输送线带动所述料篮装载的硅片脱离所述料篮至所述输送线上进行输送。

6.根据权利要求1所述的硅片分选机，其特征在于，所述输送线包括同步传动的两条第一输送皮带，所述硅片分选机还包括位于所述输送线下方的旋转机构，所述旋转机构包括用于承载硅片的旋转平台、第一升降电机和旋转电机，其中：

所述第一升降电机带动所述旋转平台上升的过程中，所述旋转平台穿过所述两条第一输送皮带之间以及带动第二硅片脱离所述输送线，所述第二硅片为位于所述旋转平台上方的硅片；

所述第二硅片脱离所述输送线后，所述旋转电机带动所述旋转平台旋转预定角度使所述第二硅片旋转所述预定角度，所述第一升降电机带动所述旋转平台下降使所述第二硅片脱离所述旋转平台落在所述输送线上。