[实用新型]一种沉淀室的隔离设备有效
申请号: | 201820592445.7 | 申请日: | 2018-04-24 |
公开(公告)号: | CN208014647U | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 赵永飞 | 申请(专利权)人: | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 李蒙蒙;龙洪 |
地址: | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 内腔 隔离设备 弹性装置 隔板机构 沉淀室 主门板 外腔 密封圈 太阳能电池 更换零件 紧贴密封 密封隔离 完全隔离 制造设备 沉积室 敞口 分隔 封盖 向内 申请 挤压 封闭 | ||
1.一种沉淀室的隔离设备,用以分隔沉积室的内腔和外腔,所述隔离设备包括用以封闭所述内腔的隔板机构,所述隔板机构包括相连接的主门板和弹性装置,所述主门板封盖所述内腔的敞口,所述弹性装置用以向内腔方向挤压所述主门板而使其紧贴密封所述内腔。
2.根据权利要求1所述的隔离设备,其特征在于,所述沉积室设置有可旋转的门轴,所述隔板机构固定在所述门轴上,所述隔离设备还包括驱动装置,所述驱动装置与门轴连接,用以驱动所述门轴旋转而带动所述隔板机构转动。
3.根据权利要求2所述的隔离设备,其特征在于,所述隔板机构还包括基板,所述弹性装置设置于所述主门板与基板之间,所述基板与门轴固定。
4.根据权利要求2所述的隔离设备,其特征在于,所述驱动装置为气缸,所述气缸固定在沉降室外壁侧,所述气缸通过连杆机构与所述门轴连接,所述连杆机构包括驱动杆和驱动连杆,所述驱动杆一端与气缸的输出端固定,另一端与所述驱动连杆铰接,所述驱动连杆与所述门轴固定。
5.根据权利要求3所述的隔离设备,其特征在于,所述隔板机构通过固定在所述基板上的连接座与所述门轴连接。
6.根据权利要求2所述的隔离设备,其特征在于,所述门轴通过设置在其两端的轴承座安装在所述沉积室壁上。
7.根据权利要求4所述的隔离设备,其特征在于,所述气缸通过铰接座与沉积室的外壁侧固定,所述气缸与铰接座铰接。
8.根据权利要求1-7任一所述的隔离设备,其特征在于,所述弹性装置包括多个弹片,所述弹片的一端与所述主门板相抵,用以抵顶所述主门板。
9.根据权利要求1所述的隔离设备,其特征在于,所述沉积室上固定有门轴,所述隔板机构旋转安装在所述门轴上,所述隔离设备还包括驱动装置,所述驱动装置与隔板机构连接,用以驱动所述隔板机构转动封闭或开启所述内腔。
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