[实用新型]一种沉淀室的隔离设备

说明书

本申请公开了一种沉淀室的隔离设备，用以分隔沉积室的内腔和外腔，所述隔离设备包括用以封闭所述内腔的隔板机构，所述隔板机构包括相连接的主门板和弹性装置，所述主门板封盖所述内腔的敞口，所述弹性装置用以向内腔方向挤压所述主门板而使其紧贴密封所述内腔。本申请涉及太阳能电池的制造设备，提供了一种沉淀室的隔离设备，其采用带有弹性装置的隔板机构将内腔和外腔密封隔离开，从而避免因密封圈失效而带来的不能完全隔离的问题，同时也可减少零件的损耗和频繁更换零件的麻烦。

技术领域

本文涉及太阳能电池的制造设备，尤指一种沉淀室的隔离设备。

背景技术

等离子增强化学气相沉积设备(PECVD设备)是制造HIT高效异质结电池的核心设备。而该设备中的PECVD沉积室是对硅片沉积P/I/N结的腔室。

目前，PECVD沉积室采取外腔和内腔的结构设计，在进行化学气相沉积时，需将外腔和内腔隔离开，现有的PECVD沉积室采用30mm厚的铝板制成的门板进行隔离，门板在垂直方向上进行移动，并利用门板上的O型密封圈来达到内外腔密封隔离的目的。

但是，在内腔高温时，密封圈易老化而失去弹性，使门板与内腔之间存在缝隙，并不能完全将内腔和外腔分隔开来。另外，由于该门板在垂直方向上上下移动来封闭或开启内腔，密封圈会频繁摩擦，损坏较快，需频繁的更换密封圈，给设备使用带来不便。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种沉淀室的隔离设备，其采用带有弹性装置的隔板机构将内腔和外腔密封隔离开，从而避免因密封圈失效而带来的不能完全隔离的问题，同时也可减少零件的损耗和频繁更换零件的麻烦。

为了达到发明目的，本实用新型提供了一种沉淀室的隔离设备，用以分隔沉积室的内腔和外腔，所述隔离设备包括用以封闭所述内腔的隔板机构，所述隔板机构包括相连接的主门板和弹性装置，所述主门板封盖所述内腔的敞口，所述弹性装置用以向内腔方向挤压所述主门板而使其紧贴密封所述内腔。

一种可能的设计，所述沉积室设置有可旋转的门轴，所述隔板机构固定在所述门轴上，所述隔离设备还包括驱动装置，所述驱动装置与门轴连接，用以驱动所述门轴旋转而带动所述隔板机构转动。

一种可能的设计，所述隔板机构还包括基板，所述弹性装置夹在所述主门板与基板之间，所述基板与门轴固定。

一种可能的设计，所述驱动装置为气缸，所述气缸固定在沉降室外壁侧，所述气缸通过连杆机构与所述门轴连接，所述连杆机构包括驱动杆和驱动连杆，所述驱动杆一端与气缸的输出端固定，另一端与所述驱动连杆铰接，所述驱动连杆与所述门轴固定。

一种可能的设计，所述隔板机构通过固定在所述基板上的连接座与所述门轴连接。

一种可能的设计，所述门轴通过设置在其两端的轴承座安装在所述沉积室壁上。

一种可能的设计，所述气缸通过铰接座与沉积室的外壁侧固定，所述气缸与铰接座铰接。

一种可能的设计，所述弹性装置包括多个弹片，所述弹片的一端与所述主门板相抵，用以抵顶所述主门板。

一种可能的设计，所述沉积室上固定有门轴，所述隔板机构旋转安装在所述门轴上，所述隔离设备还包括驱动装置，所述驱动装置与隔板机构连接，用以驱动所述隔板机构转动封闭或开启所述内腔。

与现有技术相比，本实用新型采用带有弹性装置的隔板机构将内腔和外腔密封隔离开，能够更好的吸收安装误差和沉积高温带来的形变，从而避免因密封圈失效而带来的不能完全隔离的问题，同时也可减少零件的损耗和频繁更换零件的麻烦。

进一步地，本实用新型的驱动装置用以转动隔板机构而使其封闭或开启内腔，改变原有竖直移动的切换方式，避免了频繁摩擦而对零部件造成的损坏。