[实用新型]一种基板支撑装置及系统

权利要求书

1.一种基板支撑装置，其特征在于，包括：

可伸缩支撑结构，所述可伸缩支撑结构在外力作用下处于收缩状态或展开状态，所述可伸缩支撑结构的与所述基板接触的接触面上设有支撑件；

可拆卸连接结构，所述可拆卸连接结构设置在所述可伸缩支撑结构的至少一端部上，构造成连接所述可伸缩支撑结构和所述基板的烘烤腔体。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述可伸缩支撑结构包括空心囊体，所述空心囊体在气压的作用下处于收缩状态或展开状态。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述可伸缩支撑结构还包括：可伸缩杆；

所述可伸缩杆沿着所述空心囊体的伸缩方向设置在所述空心囊体内，且所述可伸缩杆的两端分别于所述空心囊体连接。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述可伸缩杆由弹性材质制成。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述可伸缩杆包括：第一子杆和第二子杆；

所述第一子杆为空心杆，所述第一子杆套在所述第二子杆上，且与所述第二子杆滑动连接；

所述第一子杆的第一端和所述第二子杆的第二端分别与所述空心囊体连接，所述第一端与所述第二端相对。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述可伸缩支撑结构包括：

N个弹性连接件，N为大于等于1的正整数；

N+1个空心支撑杆，N+1个所述空心支撑杆首尾相接，每相邻两个所述空心支撑杆之间通过所述弹性连接件连接。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，

每相邻两个所述空心支撑杆之间通过所述弹性连接件密封连接，形成柱状空腔结构，所述柱状空腔结构在气压作用下处于收缩状态或展开状态。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的装置，其特征在于，所述可拆卸连接结构包括：

第一磁性件，所述第一磁性件设置在所述可伸缩支撑结构的端部；

第二磁性件，所述第二磁性件与所述第一磁性件相吸，所述第二磁性件用于设置在所述基板的烘烤腔体上。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的装置，其特征在于，所述可拆卸连接结构包括：

吸附件，所述吸附件设置在所述可伸缩支撑结构的端部；

电磁吸盘，所述电磁吸盘设置在所述基板的烘烤腔体上，所述电磁吸盘在通电的情况下能够吸附所述吸附件；

控制器，所述控制器与所述电磁吸盘电连接，用于控制所述电磁吸盘的通电和断电。

10.一种基板支撑系统，其特征在于，所述系统包括：

上述权利要求2～9中任一项所述的基板支撑装置；

充气源，所述充气源配置成为所述基板支撑装置的可伸缩支撑结构提供气体的装置。